| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제1 다공성 유전체의 양면에 접착필름을 부착시키고, 상기 접착필름 상부에 금속포일을 부착시켜 금속포일, 접착필름, 제1 다공성 유전체, 접착필름 및 금속포일이 순차적으로 구비된 대칭구조체를 형성하는 단계;상기 대칭구조체를 가열하여 접착필름이 반경화되게 하는 단계;상기 금속포일을 패터닝하여 금속패턴을 형성하는 단계;상기 금속패턴 상부에 접착필름을 부착시키는 단계; 상기 금속패턴 상부에 부착된 접착필름 상부에 제2 다공성 유전체를 부착시키는 단계; 및상기 제2 다공성 유전체가 부착된 결과물을 가열하여 접착필름이 완전 경화되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 접착필름 상부에 금속포일을 부착시킨 후에 상기 금속포일과 상기 접착필름 사이의 기포를 제거하기 위하여 진공 압착시키는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 9 |
9
제7항에 있어서, 상기 금속패턴 상부에 접착필름을 부착시키는 단계 후에 상기 금속패턴과 상기 접착필름 사이의 기포를 제거하기 위하여 진공 압착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 10 |
10
제7항에 있어서, 상기 금속패턴을 형성하는 단계는,감광필름과 금속포일 사이의 접착력을 높이기 위해 금속포일에 대하여 소프트에칭 공정을 수행하는 단계; 상기 금속포일 표면에 감광필름을 접착시키는 단계; 패턴이 새겨진 마스크의 패턴을 노광 공정을 통해 상기 감광필름으로 전사시키는 단계; 외부로 노출되어 있는 상기 제1 다공성 유전체의 측면 부분을 밀봉하는 단계;현상 공정을 이용하여 빛의 노출 여부에 따라 상기 감광필름이 선택적으로 식각되게 하여 감광필름 패턴을 형성하는 단계;상기 감광필름 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 금속포일을 선택적으로 에칭하여 금속패턴을 형성하는 단계;상기 감광필름 패턴을 제거하는 단계; 및상기 감광필름 패턴이 제거된 결과물을 세척 및 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 11 |
11
제7항에 있어서, 상기 샌드위치형 메타구조체는 제2 다공성 유전체, 접착필름, 금속패턴, 접착필름, 제1 다공성 유전체, 접착필름, 금속패턴, 접착필름 및 제2 다공성 유전체가 순차적으로 구비된 샌드위치형 구조를 이루고 있는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 12 |
12
제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 다공성 유전체는 10∼60%의 기공율을 갖는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 13 |
13
제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 다공성 유전체는 폴리스티렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리우레탄 및 폴리메타크릴아미드로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 14 |
14
제7항에 있어서, 상기 접착필름은 에폭시, 폴리아미드 및 열가소성 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 15 |
15
제7항에 있어서, 상기 금속패턴은 구리, 알루미늄, 티타늄 및 니켈로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
| 16 |
16
제7항에 있어서, 상기 제1 다공성 유전체를 기준으로 양쪽이 대칭적인 구조를 이루고 있는 것을 특징으로 하는 샌드위치형 메타구조체의 제조방법
|
