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(a) 단상의 고엔트로피 합금 분말을 생성하는 단계;(b) 상기 단상의 고엔트로피 합금 분말과 반응물을 반응조에 투입시켜 열처리함으로써 다상의 복합 세라믹 분말을 생성하는 단계;(c) 플라즈마 유도 가열장치를 이용하여 다상의 복합 세라믹 분말을 플라즈마 열처리하여 용융 입자를 생성하는 단계;(c-1) 상기 플라즈마 열처리에 의해 생성된 용융 입자를 안정화시켜 단상의 고엔트로피 세라믹 분말을 생성하는 단계;를 포함하는 용사 코팅용 고엔트로피 세라믹 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계의 고엔트로피 합금 분말은 5원계 합금으로서 몰분율로 Ti-Zr-V-Nb-Cr0
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계의 반응물은 산소(O2), 물(H2O), 아모니아(NH3), 에틸렌(C2H4), 보론 트리클로라이드(BCL3) 중 적어도 어느 하나를 투입하는 것을 특징으로 하는 용사 코팅용 고엔트로피 세라믹 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계의 열처리는 300 내지 1000℃ 에서 10분 내지 10시간 동안 진행하는 것을 특징으로 하는 용사 코팅용 고엔트로피 세라믹 분말의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 반응물로서 아모니아(10% NH3)와 질소(N2)를 반응조에 투입하고, 반응조에서 800℃, 30분 동안 열처리를 진행하는 것을 특징으로 하는 용사 코팅용 고엔트로피 세라믹 분말의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 (b) 단계의 열처리를 통해 5원계 질화물(NbN, VN, ZrN, TiN, CrN)로 이루어진 다상의 복합 세라믹 분말을 생성하는 경우, 질화물들의 결정 구조는 동일한 입방 격자를 가지는 것을 특징으로 하는 용사 코팅용 고엔트로피 세라믹 분말의 제조 방법
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(a) 단상의 고엔트로피 합금 분말을 준비하는 단계;(b) 상기 단상의 고엔트로피 합금 분말과 반응물을 반응조에 투입시켜 열처리함으로써 다상의 복합 세라믹 분말을 생성하는 단계;(c) 플라즈마 유도 가열장치를 이용하여 다상의 복합 세라믹 분말을 플라즈마 열처리하여 용융 입자를 생성하는 단계; (d) 상기 플라즈마 유도 가열장치에 의해 생성된 용융 입자를 모재 표면에 분사하여 단상의 고엔트로피 세라믹 물질로 이루어진 코팅막을 형성하는 것을 특징으로 하는 용사 코팅 방법
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