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전이 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2021007088
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 상에 전이 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것, 및 자외선 처리 장치를 통해 상기 전이 금속 칼코겐 화합물 박막의 표면을 자외선 처리하는 것을 포함하되, 상기 자외선 처리하는 것은 상온 및 대기압 조건에서 수행되고, 상기 자외선 처리하는 것에 의해 상기 전이 금속 칼코겐 화합물 박막을 구성하는 일부 원소가 다른 원소와 결합하거나 다른 원소로 치환되는 전이 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200032631 (2020.03.17)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0065011 (2021.06.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020190152561   |   2019.11.25
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종혁 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0280754-79
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번호 청구항
1 1
기판 상에 전이 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 것; 및자외선 처리 장치를 통해 상기 전이 금속 칼코겐 화합물 박막의 표면을 자외선 처리하는 것을 포함하되,상기 자외선 처리하는 것은 상온 및 대기압 조건에서 수행되고,상기 자외선 처리하는 것에 의해 상기 전이 금속 칼코겐 화합물 박막을 구성하는 일부 원소가 다른 원소와 결합하거나 다른 원소로 치환되는 전이 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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2 산업통상자원부 그리드위즈 기타사업 IoT 응용을 위한 레이/웨이브 하이브리드 광학 기반 고효율 시뮬레이션 플랫폼 개발
3 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원(ETRI) 국가간 협력기반조성사업 이종 다차원 나노복합소재를 이용한 정밀 구조 제어 기반 유연 전자소자, 에너지 및 스마트 센서 응용 연구