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이중 대기압 저온 플라즈마 장치 및 이를 이용한 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법

  • 기술번호 : KST2021007236
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 OLED 박막 봉지 및 그 제조방법에 대한 것으로, 보다 상세하게는 대기압의 열린 공간에서 박막 제조 공정을 진행할 수 있어, 고가의 진공장치가 요구되지 않아 비용 절감 및 우수한 품질로 산소 및 수분 차단 효과가 우수한 박막증착을 통해 OLED 소자 성능을 향상시킬 수 있는 공정 및 그 장치에 대한 것이다.
Int. CL H01L 51/52 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01) C09K 3/10 (2006.01.01)
CPC H01L 51/5253(2013.01) H01L 51/56(2013.01) C09K 3/10(2013.01) H01L 2251/56(2013.01)
출원번호/일자 1020190154306 (2019.11.27)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0065499 (2021.06.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.27)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문세연 전라북도 군산
2 호돌프 모셰프 전라북도 전주시 덕진구
3 김종운 전라북도 익산시
4 김동현 전라북도 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박종한 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 * (구로동, 에이스하이엔드타워*차) ***호(한림특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2019-1223249-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.05.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2020.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-0614738-38
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0193004-51
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0873617-11
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2021-0107247-19
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.01.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0107248-54
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2021.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0450486-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
OLED 소자가 형성된 기판에 봉지막을 형성 하는 방법으로서, (a)OLED 소자가 형성된 기판에 박막용 전구체 및 방전 기체 분위기에서 플라즈마 처리하여 봉지막 코팅단계;(b)상기 봉지막 코팅 후 불활성 기체 분위기에서 플라즈마 처리해서 개질 봉지막을 수득하는 단계;를 포함하는 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 플라즈마 처리는 저온 및 대기압에서 진행되는 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 OLED 소자 봉지막 제조 방법은 상기 (a) 및 (b) 단계로 2회 이상 반복하는 것인 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 봉지막은 금속산화물 및 금속질화물을 포함하는 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 봉지막은 다층구조를 포함하는 OLED 소자 개질 봉지막 제조 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 방전 기체는 공기, 헬륨, 산소, 질소 및 아르곤을 포함하는 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 불활성 기체는 헬륨, 질소 및 아르곤을 포함하는 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 플라즈마 처리는 1 KHz 내지 4 GHz 주파수에서 진행되는 OLED 소자 개질 봉지막 제조 방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 OLED 소자 봉지막은 수분 침투율이 10-3 내지 10-7 g/m2/day 인 OLED 소자 개질 봉지막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.