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n형 반도체인 하부 전극층;상기 하부 전극층의 상측에 형성되고 높은 도핑 농도의 p형 반도체가 높은 도핑 농도의 n형 반도체의 상측에 배치되는 터널정션 소자;상기 터널정션 소자의 상측에 형성되고 n형 반도체가 상측에 배치되는 발광 소자층; 및상기 발광 소자층의 상측에 형성되며 n형 반도체인 상부 전극층;을 포함하는 터널정션 소자를 가지는 발광 소자
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청구항 1에 있어서, 상기 하부 전극층은,그 두께가 2㎛ 내지 3㎛인 터널정션을 구비하는 발광 소자
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청구항 2에 있어서, 상기 하부 전극층의 일부를 노출하기 위하여 상기 하부 전극층의 상위층들을 제거한 하부전극 메사구조를 포함하는 터널정션을 구비하는 발광 소자
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청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 따른 터널정션을 구비하는 발광 소자의 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 제1 단계;상기 기판의 상측에 n형 반도체인 하부 전극층이 형성되는 제2 단계;높은 도핑 농도의 p형 반도체가 높은 도핑 농도의 n형 반도체의 상측에 배치되는 터널정션 소자가 상기 하부 전극층의 상측에 형성되는 제3 단계;n형 반도체가 상측에 배치되는 발광 소자층이 상기 터널정션 소자의 상측에 형성되는 제4 단계;n형 반도체인 상부 전극층이 상기 발광 소자층의 상측에 형성되는 제5 단계;를 포함하고,상기 제2 단계 내지 상기 제5 단계는 인시츄(in-situ)로 수행되는 터널정션을 구비하는 발광 소자 제조 방법
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청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 따른 터널정션을 구비하는 발광 소자가 하나의 기판에 복수개가 형성되는 터널정션을 구비하는 발광 소자를 이용한 멀티컬러 소자
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청구항 5에 있어서,복수개의 상기 발광소자는,적어도 두 가지 이상의 서로 다른 파장의 빛을 방출하고,상기 기판상에 나란하게 형성되는 터널정션을 구비하는 발광 소자를 이용한 멀티컬러 소자
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청구항 6에 있어서,복수의 상기 발광소자는,전기적으로 서로 격리되도록, 그 사이의 상기 하부 전극층에 트랜치 상기 기판이 노출되는 트랜치 구조를 포함하는 터널정션을 구비하는 발광 소자를 이용한 멀티컬러 소자의 제조방법
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청구항 5 내지 청구항 6중 어느 한 항에 따른 터널정션을 구비하는 발광 소자를 이용한 멀티컬러 소자의 제조방법에 있어서,상기 기판을 준비하는 제10 단계;n형 반도체이고 상기 기판의 상측에 배치되는 하부 전극층과, 높은 도핑 농도의 p형 반도체가 높은 도핑 농도의 n형 반도체의 상측에 배치되어 상기 하부 전극층의 상측에 배치되는 터널정션 소자와, p형 반도체가 n형 반도체 상측에 배치되어 상기 터널정션 소자의 상측에 배치되는 발광 소자층 및, n형 반도체이고 상기 발광 소자층의 상측에 배치되는 상부 전극층으로 구비되는 제1 발광부를 인시츄(in-situ)로 형성하는 제20 단계;상기 하부 전극층의 일부가 노출되도록 상기 하부 전극층의 상위층들을 제거하고, 상기 제1 발광부를 가지는 메사 구조체인 제1 발광소자가 형성되는 제30 단계;상기 제1 발광 소자의 상측에 상기 제1 발광소자를 보호하는 패시베이션(passivation) 층이 형성되는 제40 단계;n형 반도체이고 상기 기판의 상측에 배치되는 또 다른 상기 하부 전극층과, 높은 도핑 농도의 p형 반도체가 높은 도핑 농도의 n형 반도체 상측에 배치되고 상기 또 다른 하부 전극층의 상측에 배치되는 또 다른 상기 터널정션 소자과, n형 반도체가 p형 반도체 상측에 배치되어 또 다른 상기 터널정션 소자의 상측에 배치되는 또 다른 상기 발광 소자층 및, n형 반도체이고 또 다른 상기 발광 소자층의 상측에 배치되는 또 다른 상기 상부 전극층으로 구비되는 제2 발광부를 인시츄(in-situ)로 형성하는 제50 단계;상기 하부 전극층의 일부가 노출되도록 상기 또 다른 하부 전극층 및 그 상위층들을 제거하고, 상기 제2 발광부를 가지는 메사 구조체인 제2 발광소자를 형성하는 제60 단계;모든 상기 하부 전극층 및 모든 상기 상부 전극층 상에 콘택 금속층을 형성하는 제70 단계;를 포함하는 터널정션을 구비하는 발광 소자를 이용한 멀티컬러 소자의 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 제1 발광소자와 상기 제2 발광소자는,서로 전기적으로 격리되도록, 그 사이의 상기 하부 전극층에 상기 기판이 노출되도록 트랜치 구조를 형성하는 제61 단계;를 더 포함하는 터널정션을 구비하는 발광 소자를 이용한 멀티컬러 소자의 제조방법
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