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이동방향을 따라 이동되는 기판에 코팅액을 제공하여 코팅면을 형성하는 코팅모듈;상기 코팅모듈과 연결되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 코팅면의 작업영역에 식각액을 배출하여 상기 작업영역을 패터닝하는 식각모듈; 및상기 기판의 측방에서 상기 기판의 상부로 연장되게 형성되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 상기 기판의 상부에 배치되게 하는 구동모듈을 포함하고,상기 식각모듈은, 상기 작업영역 상부에 위치하여 상기 코팅면의 일부를 용해하기 위해 상기 작업영역을 향해 상기 식각액을 토출하는 토출유닛 및 상기 토출유닛과 인접하게 배치되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 식각액을 흡입하는 흡입유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 구동모듈은,상기 이동방향과 수직한 수직방향을 따라 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 이동 가능하도록 레일이 형성되는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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제2항에 있어서,상기 구동모듈은,상기 레일상에서 상기 이동방향을 따라 연장되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 순차적으로 배치되게 구비되는 연장유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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제3항에 있어서,상기 구동모듈은,상기 식각모듈이 결합되고 상기 연장유닛상에서 회전 가능하게 축 결합되는 회전유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 식각모듈은,상기 기판이 이동되면서 상기 식각액을 흡입하기 위해 상기 이동방향을 따라 상기 토출유닛과 상기 흡입유닛이 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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제6항에 있어서,상기 식각모듈은,패터닝하면서 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 식각모듈을 고정시키는 홀딩유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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제7항에 있어서,상기 홀딩유닛은,상기 식각모듈이 내측에 삽입되도록 상기 식각모듈의 형상과 대응되는 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는,식각모듈이 구비된 코팅장치
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