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AlN 세라믹스 조성물에 CaCO3·Al2O3·SiO2 글라스가 첨가되어 고용체를 이루는 질화알루미늄 세라믹스 조성물
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제1항에 있어서,상기 글라스는 상기 글라스의 총 중량 대비 다음 함량(wt%) 범위의 성분들로 구성된 질화알루미늄 세라믹스 조성물
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제1항에 있어서,상기 질화알루미늄 세라믹스 조성물은 희토류의 함유가 의도적으로 배제된 것인 질화알루미늄 세라믹스 조성물
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제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 글라스의 함량은 상기 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 총 중량대비 1~10wt% 범위인 질화알루미늄 세라믹스 조성물
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AlN 분말에 CaCO3·Al2O3·SiO2 글라스 분말을 혼합하고 그린시트를 성형하는 단계와;상기 그린시트를 탈지 처리한 후 소결하여 고용체를 형성하는 단계를 포함하는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 혼합하는 상기 글라스 분말:Al 분말의 함량비는 1:99~10:90 wt% 범위인 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 그린시트는 희토류 성분을 의도적으로 함유하지않도록 구성되는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 글라스 분말은 상기 글라스 분말의 총 중량 대비 다음 함량(wt%) 범위의 성분들로 구성되는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 탈지 처리는 대기중, N2 분위기, 진공중 및 습식(wet) N2 분위기 중의 하나에서 수행되는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 탈지 처리는 300~1000℃ 범위의 온도에서 수행되는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 소결하는 온도는 1700~1900℃ 범위의 온도에서 수행되는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 그린시트는 바인더를 함유하는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 바인더의 함량은 상기 그린시트의 총량대비 4~5wt% 범위인 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제5항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 그린시트는 분산제 및 가소제 중의 하나 이상을 함유하는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 분산제의 함량은 상기 그린시트의 총량대비 0
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제14항에 있어서,상기 가소제의 함량은 상기 그린시트의 총량대비 1
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제5항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 그린시트를 성형하는 단계는 상기 그린시트의 내부 및 외부 중의 하나 이상에 하나 이상의 금속전극을 부착하는 단계를 포함하고, 상기 금속전극은 상기 그린시트와 함께 동시소성되는 질화알루미늄 세라믹스 조성물의 제조방법
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