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탄소재를 준비하는 과정;질소(N) 및 불소(F)를 포함하는 화합물로 이루어진 고체 분말을 준비하는 과정;산소(O)를 포함하는 분위기에서 상기 탄소재를 제 1 열처리하는 과정;상기 고체 분말과, 제 1 열처리된 탄소재를 물리적으로 혼합하여 고체 혼합물을 제조하는 과정; 및상기 고체 혼합물을 제 2 열처리하는 과정;을 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 열처리하는 과정 동안에 산소 작용기가 상기 탄소재 표면에 도입되는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 열처리하는 과정은 460 내지 600℃의 온도에서 수행되는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 화합물은 수소(H)를 더 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 화합물은 불화암모늄(NH4F) 또는 불화수소암모늄(NH4HF2)을 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 고체 분말의 질량은 상기 제 1 열처리된 탄소재의 질량의 0
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청구항 1에 있어서,상기 제 2 열처리하는 과정 전에,상기 고체 혼합물을 반응공간을 한정하기 위한 반응용기 내에 위치시키는 과정을 더 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 제 2 열처리하는 과정은,상기 고체 분말을 암모니아(NH3) 기체 및 불화수소(HF) 기체로 열분해하는 과정; 및상기 암모니아 기체 및 불화수소 기체가 상기 제 1 열처리된 탄소재 표면과 반응하는 과정;을 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 제 2 열처리하는 과정은 마이크로웨이브를 조사하는 과정을 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 제 2 열처리하는 과정은 120 내지 300℃의 온도에서 수행되는 탄소재 표면 처리방법
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청구항 1에 있어서,상기 제 2 열처리하는 과정의 결과물을 세척하는 과정; 및세척된 결과물을 건조하는 과정;을 더 포함하는 탄소재 표면 처리방법
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