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페로브스카이트 박막용 원료 가스들을 공급하는 원료 가스 공급부;상기 원료 가스 공급부로부터 상기 원료 가스들이 공급되는 반응관;상기 반응관의 상부에 설치되며, 상기 반응관 내의 원료 가스를 유도 결합으로 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 및상기 반응관의 하부에 설치되며, 상기 플라즈마를 급냉시켜 고순도 결정질 분말로 변환시키는 급냉부;를 포함하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 생성 장치
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제1항에 있어서,상기 원료 가스 공급부는 상기 원료 가스들을 각각 공급하는 복수의 공급관을 포함하고, 상기 복수의 공급관에는 각각 원료 가스의 공급량을 조절하는 질량유량제어기(MFC)가 설치된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 생성 장치
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제1항에 있어서, 상기 플라즈마 발생부는,RF 또는 DC 발생기에 연결되어 유도 전극을 발생시키는 유도 결합 플라즈마 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 생성 장치
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제1항에 있어서, 상기 급냉부는,상기 반응관의 하부에 감긴 냉매 순환 라인(water cooling line)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 생성 장치
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고순도 결정질 분말의 증착이 이루어지는 챔버;상기 챔버의 상부에 설치되며 고순도 결정질 분말을 생성하는 고순도 결정질 분말 생성 장치로서,페로브스카이트 박막용 원료 가스들을 공급하는 원료 가스 공급부,상부가 상기 원료 가스 공급부와 연결되어 상기 원료 가스 공급부로부터 상기 원료 가스들이 공급받고, 상기 상부와 연결된 하부는 상기 챔버에 연통되게 결합된 반응관,상기 반응관의 상부에 설치되며, 상기 반응관 내의 원료 가스를 유도 결합으로 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부, 및상기 반응관의 하부에 설치되며, 상기 플라즈마를 급냉시켜 고순도 결정질 분말로 변환시키는 급냉부를 구비하는 상기 고순도 결정질 분말 생성 장치;상기 반응관의 하단에 결합되며, 상기 고순도 결정질 분말을 상기 챔버 내부로 분사하는 분사용 오리피스;상기 챔버의 내부에 설치되되 상기 분사용 오리피스 아래에 이동 가능하게 설치되며, 상기 분사용 오리피스에서 분사된 고순도 결정질 분말이 증착될 대상기판이 장착되는 기판 홀더; 및상기 챔버의 하부에 연결되며, 상기 분사용 오리피스와 상기 대상기판 사이에 압력 차이를 형성하여 상기 분사용 오리피스에서 상기 대상기판을 향하여 상기 고순도 결정질 분말을 고속 분사시키는 복수의 진공 펌프;를 포함하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 분사 장치
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제5항에 있어서,상기 분사용 오리피스는 중심부에 폭이 좁고 길이 긴 슬릿이 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 분사 장치
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제5항에 있어서,상기 기판 홀더는 상하좌우로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 분사 장치
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제5항에 있어서, 상기 진공 펌프는,상기 챔버에 연결되어 상기 원료 가스의 흐름을 위해 일정한 압력을 유지하고, 상기 챔버 내의 불순물을 제거하기 위해서 저진공 상태를 만들어주는 로터리 펌프; 및상기 로터리 펌프에 연결되며, 상기 챔버를 고진공 상태로 만들어 상기 고순도 결정질 분말을 고속 분사시키는 터보 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 분사 장치
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페로브스카이트 박막용 원료 가스들을 공급하는 원료 가스 공급부;상기 원료 가스 공급부로부터 상기 원료 가스들이 공급되는 반응관;상기 반응관의 상부에 설치되며, 상기 반응관 내의 원료 가스를 유도 결합으로 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부;상기 반응관의 하부에 설치되며, 상기 플라즈마를 급냉시켜 고순도 결정질 분말로 변환시키는 급냉부; 및상기 반응관의 하단에 결합되며, 상기 고순도 결정질 분말이 포집되는 포집용 오리피스;를 포함하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 포집 장치
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제9항에 있어서,고순도 결정질 분말의 포집이 이루어지는 챔버;를 더 포함하며,상기 챔버의 상부에 상기 반응관이 설치되며, 상기 반응관의 하부가 상기 챔버에 연통되게 결합되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 포집 장치
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제10항에 있어서, 상기 포집용 오리피스는,멤브레인 필터;상기 멤브레인 필터의 하부에 적층된 금속 소재의 하부 메쉬 필터; 및상기 멤브레인 필터의 상부에 적층된 금속 소재의 상부 메쉬 필터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 포집 장치
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제10항에 있어서,상기 챔버의 하부에 연결되며, 상기 포집용 오리피스와 상기 챔버의 하부 사이에 압력 차이를 형성하여 상기 포집용 오리피스를 향하여 상기 고순도 결정질 분말을 고속 분사시켜 포집되도록 하는 복수의 진공 펌프;를 더 포함하는 플라즈마를 이용한 대면적 페로브스카이트 태양전지 모듈용 고순도 결정질 분말 포집 장치
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