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상대적으로 회전하는 형태로 결합되는 상부 챔버와 및 하부 챔버로 분할 구성되는 진공 공정챔버에 적용되는 복합 씰링 구조로서, 상기 진공 공정챔버의 최외측에 제공되는 솔리드씰; 및 상기 솔리드씰과 진공 공정챔버의 내부 공간 사이에 제공되는 자성유체씰;을 포함하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제1항에 있어서, 상기 상부 챔버의 외측벽이 상기 하부 챔버에 수용되는 형태로 결합되고, 상기 솔리드씰은 상기 상부 챔버의 외측벽과 하부 챔버의 내측벽 사이에 제공되고, 상기 자성유체씰은 상기 상부 챔버의 하면과 상기 하부 챔버의 상면 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제1항에 있어서, 상기 솔리드씰의 표면에는 마찰력 저감 코팅이 구비된 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제3항에 있어서, 상기 마찰력 저감 코팅은 PTFE인 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제1항에 있어서, 상기 자성유체씰에 대한 바이패스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제5항에 있어서, 상기 하부 챔버는 자성유체를 충진하기 위해 그 상면 가장자리에서 원주방향으로 형성되는 하나 이상의 링상 트렌치(trench)를 구비하고, 상기 상부 챔버에는 상기 트렌치에 삽입 수용되는 팁(tip)을 구비하고, 상기 바이패스는 상기 팁에 형성되는 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제5항에 있어서, 상기 바이패스를 개폐시키기 위한 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제1항에 있어서, 상기 솔리드씰은 오링씰 립씰 또는 다각형씰인 것을 특징으로 하는 복합 씰링 구조
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제1항에 있어서, 상기 하부 챔버는 자성유체가 충진될 수 있도록 그 상면 가장자리에서 원주방향으로 형성되는 하나 이상의 링상 트렌치를 구비하되, 상기 진공 공정챔버 내부 공간에 가장 근접해 위치하는 트렌치는 자성유체가 충진되지 않는 완충 트렌치로 제공되는 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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제1항에 있어서, 상기 진공 공정챔버는 ALD, ALE 또는 CVD 장치의 일부를 구성하는 것을 특징으로 하는 회전형 진공 공정챔버용 복합 씰링 구조
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