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속이 찬 1차 입자의 표면 상에 상기 1차 입자의 직경보다 작은 직경을 갖는 복수개의 2차 입자가 돌기를 형성하고 있는 무기 입자로서, 상기 무기 입자는 pH4 의 수분산액 상태에서 표면 전하가 +30 ~ +50 mV 또는 -30 ~ -50 mV의 제타전위를 갖는 것인 무기 입자
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제1항에 있어서, 상기 속이 찬 1차 입자는 자기조립성 계면활성제가 형성하는 껍질 속에서 성장된 것인 무기 입자
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제1항 있어서, 상기 무기 입자의 밀도는 3
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제1항에 있어서, 상기 2차 입자의 직경은 상기 1차 입자 직경의 2~25%인 것인 무기 입자
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제1항에 있어서, 상기 1차 입자 및 2차 입자는 각각 독립적으로 Ga, Sn, As, Sb, Ce, Si, Al, Co, Fe, Li, Mn, Ba, Ti, Sr, V, Zn, La, Hf, Ni 및 Zr으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 산화물로 이루어진 것인 무기 입자
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(a) 자기조립성 계면활성제를 용매에 용해시키는 단계;(b) 상기 (a) 단계를 실시하기 전, 후 또는 동시에, 무기물 전구체를 상기 용매에 용해 또는 분산시켜 무기물 전구체 용액을 제조하는 단계; 및(c)상기 무기물 전구체와 상기 계면활성제의 자기조립반응을 통해 계면활성제가 형성하는 껍질 속에서 속이 찬 1차 입자를 형성하고, 1차 입자 표면 상에 상기 1차 입자의 직경보다 작은 직경을 갖는 복수개의 2차 입자가 돌기를 형성하도록 하는 단계를 포함하는 제1항 내지 제4항 및 제6항 중 어느 한 항의 무기 입자 제조 방법:
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제7항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 얻은 무기 입자를 산과 염기로 처리하여 표면 전하가 제어된 무기입자를 얻는 단계를 더 포함하는 무기 입자 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 자기조립성 계면활성제는 상기 무기물 전구체와 결합할 수 있는 전하를 갖는 양이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제 및 양쪽성 계면활성제로부터 선택되는 하나 이상으로서, 축합반응 내지는 가교반응이 가능한 관능기를 보유하는 것인 무기 입자 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 축합반응 내지는 가교반응이 가능한 관능기는 아마이드기, 니트로기, 알데히드기 및 카르보닐기로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상인 것인 무기 입자 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 자기조립성 계면활성제가 하기 화학식 1의 화합물인 것인 무기 입자 제조 방법:[화학식 1] 상기 화학식 1에서 R1, R3, R4는 독립적으로 수소원자, C1-C10 알킬기 또는 알콕시기이며, R2는 C1-C10 알킬렌기 또는 단일 공유결합이고, n은 2 이상의 정수이다
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제7항에 있어서, 상기 용매는 물 또는 물과 상용성을 갖는 용매와 물의 혼합 용매인 것인 무기 입자 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 물과 상용성을 갖는 용매는 알코올, 클로로포름, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 글리세롤 및 부틸글리콜 중에서 선택되는 하나 이상인 것인 무기 입자 제조 방법
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제1항 내지 제4항 및 제6항 중 어느 한 항의 무기입자가 물에 분산되어 있는 수분산액
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제14항에 있어서, 상기 수분산액은 CMP용 슬러리인 것인 수분산액
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