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고엔트로피 합금분말을 반응가스와 반응 열처리 하여 불안정한 다상을 갖는 복합 세라믹 분말을 형성하는 단계; 및상기 복합 세라믹 분말을 플라즈마 처리하여 안정한 다상을 갖는 고엔트로피 세라믹 분말로 제조하는 단계를 포함하는 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고엔트로피 합금분말은 Al, Si, Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta 및W으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도4종 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 반응가스는 O, C, N 및 B 중에서 선택되는 적어도 1종 이상의 원소를 포함하는 가스인 것을 특징으로 하는 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 불안정한 다상을 갖는 복합 세라믹 분말을 형성하는 단계에서, 상기 반응 열처리는 상기 반응가스 분위기에서 300℃ 내지 1000 ℃ 의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 불안정한 다상을 갖는 복합 세라믹 분말을 형성하는 단계에서, 상기 반응 열처리는 반응속도를 증가시키기 위해 플라즈마 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 안정한 다상을 갖는 고엔트로피 세라믹 분말로 제조하는 단계에서,상기 플라즈마 처리에 의해 상기 세라믹 분말의 다상의 안정화와 함께 상기 세라믹 분말이 구형화되는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법
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제1항의 고엔트로피 세라믹 분말의 제조방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 고엔트로피 세라믹 분말
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제7항의 고엔트로피 세라믹 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 고온용 방열 재료
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제7항의 고엔트로피 세라믹 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅제
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