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기판;상기 기판 상에 형성된 복수 개의 돌기를 포함하는 돌기부;상기 돌기부가 형성된 기판 상에 형성된 3차원 다공성 구조를 가지는 금속 나노포러스 코어층; 및상기 금속 나노포러스 코어층 표면에 형성된 내구성 강화 금속 쉘층; 을 포함하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 기판은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리염화비닐(PVC), 폴리아크릴(PC) 또는 폴리프로필렌(PP)을 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 돌기는 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane Acrylates, PUA), 폴리 에스테르 아크릴레이트(Polyester Acrylates), 에폭시 아크릴레이트(Epoxy Acrylates) 또는 폴레에터 아크릴레이트(Polyether Acrylates)를 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 돌기는 맥주병(beer-bottle) 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 금속 나노포러스 코어층은 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 나노포러스 코어층은 내부에서 두께 방향으로 상대밀도 차이에 의해 밀도구배가 형성되는 것을 특징으로 하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 금속 쉘층은 금(Au)을 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판
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제1항에 있어서,상기 금속 쉘층의 두께는 0
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돌기부가 형성된 기판을 준비하는 단계;상기 돌기부가 형성된 기판 상에 금속 나노포러스 코어층을 형성하는 단계; 및 상기 금속 나노포러스 코어층 표면에 내구성 강화 금속 쉘층을 형성하는 단계; 를 포함하는 SERS기판 제조방법
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제9항에 있어서,상기 기판은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리염화비닐(PVC), 폴리아크릴(PC) 또는 폴리프로필렌(PP)을 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판 제조방법
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제9항에 있어서,상기 돌기는 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane Acrylates, PUA), 폴리 에스테르 아크릴레이트(Polyester Acrylates), 에폭시 아크릴레이트(Epoxy Acrylates) 또는 폴레에터 아크릴레이트(Polyether Acrylates)를 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판 제조방법
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제9항에 있어서,상기 금속 나노포러스 코어층을 형성하는 단계는, 증착챔버에 상기 돌기부가 형성된 기판을 고정시키는 단계;상기 증착챔버 내부를 진공상태로 만들어주는 단계;진공상태인 상기 증착챔버에 공정가스를 주입하여 상기 공정가스가 초기공정압력을 형성하는 단계;상기 기판의 온도를 50℃ 이하로 설정하는 단계;금속 펠렛이 담긴 증발원(heat source)의 온도를 상승시켜 상기 금속 증기를 형성하는 단계; 및상기 금속 증기가 상기 기판의 일면에 금속 나노포러스 코어층을 형성하고, 상기 증착챔버 내부에서 공정압력을 시간에 따라 변화시켜 상기 금속 원자의 에너지와 크기를 변화시킴으로써, 상기 금속 나노포러스 코어층 내부에서 밀도구배를 형성하는 단계; 를 포함하는 SERS기판 제조방법
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제9항에 있어서,상기 금속 나노포러스 코어층은 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판 제조방법
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제9항에 있어서,상기 금속 쉘층은 금(Au) 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판 제조방법
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제9항에 있어서,상기 내구성 강화 금속 쉘층을 형성하는 단계는,상기 금속 나노포러스 코어층의 표면에 알킬아민을 흡착시키는단계; 상기 금속 나노포러스 코어층을 세척하여 미반응물을 제거하는 단계; 및상기 내구성 강화 금속 전구체 용액에 상기 금속 나노포러스 코어층이 형성된 기판을 침지하여 상기 금속 나노포러스 코어층 표면에 내구성 강화 금속 쉘층을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 SERS기판 제조방법
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