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나노 계측기에 의한 측정에서 측정 단위를 교정하는 방법에 이용되는 표준물질에 있어서,기 지정된 서로 다른 크기의 인증값들로 너비가 설정되고 소정의 간격으로 이격되는 복수의 나노 구조체; 및상기 복수의 나노 구조체 각각이 이격된 상기 소정의 간격에 개재되는 복수의 중간층을 포함하고,상기 나노 계측기는 상기 복수의 나노 구조체의 기 지정된 서로 다른 크기의 너비 각각을 측정하고, 상기 서로 다른 크기의 너비 각각에 대한 상기 나노 계측기에 의한 측정값들이 상기 측정 단위를 교정하는데 이용되는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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청구항 1에 있어서,상기 복수의 나노 구조체 각각의 너비는,5 nm 내지 100 nm 사이의 값 중에서 지정된 값을 갖는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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청구항 2에 있어서,상기 복수의 나노 구조체는 너비의 크기에 따라 순차적으로 배열되는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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청구항 1에 있어서,상기 복수의 중간층의 두께는, 50 nm 내지 100 nm 사이의 값 중에서 지정된 값을 갖는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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5
나노 계측기에 의한 측정에서 측정 단위를 교정하는 방법에 이용되는 표준물질에 있어서,기 지정된 서로 다른 크기의 인증값들로 너비가 설정되고 소정의 간격으로 이격되는 복수의 나노 구조체; 및상기 복수의 나노 구조체 각각이 이격된 간격에 개재되는 복수의 중간층을 포함하고,상기 복수의 나노 구조체 및 상기 복수의 증간층이 교대로 적층된 상기 표준물질의 일면에는, 상기 복수의 중간층 각각이 일정한 깊이로 제거된 복수의 오목부 및 상기 복수의 나노 구조체 각각이 상기 복수의 오목부의 바닥보다 돌출되는 복수의 볼록부가 형성되고,상기 표준물질의 일면은 상기 복수의 나노 구조체 및 상기 복수의 중간층의 경계 면에 수직이고,상기 나노 계측기는 상기 복수의 나노 구조체의 기 지정된 서로 다른 크기의 너비 각각을 또는 상기 복수의 볼록부의 서로 다른 크기의 선폭 각각을 측정하고, 상기 서로 다른 크기의 너비 각각에 대한 상기 나노 계측기에 의한 측정값들 또는 상기 복수의 볼록부의 서로 다른 크기의 선폭 각각에 대한 상기 나노 계측기에 의한 측정값들이 상기 측정 단위를 교정하는데 이용되는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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청구항 5에 있어서,상기 복수의 나노 구조체 각각의 너비 또는 상기 복수의 볼록부의 선폭은,5 nm 내지 100 nm 사이의 값 중에서 지정된 값을 갖는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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청구항 6에 있어서,상기 복수의 나노 구조체는 너비의 크기에 따라 순차적으로 배열되는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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8
청구항 5에 있어서,상기 복수의 중간층의 두께는, 50 nm 내지 100 nm 사이의 값 중에서 지정된 값을 갖는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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9
청구항 6에 있어서,상기 복수의 오목부의 깊이 또는 상기 복수의 볼록부의 돌출 길이는, 상기 복수의 나노 구조체가 갖는 최소의 너비에 비해 5배 내지 10배 중 일정한 배수에 해당하는, 나노 측정 단위 교정 방법에 이용되는 표준물질
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10
청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 따른 표준물질을 이용하는 나노 측정 단위 교정 방법에 있어서,나노 계측기에 의해 상기 표준물질에 포함되고 기 지정된 서로 다른 크기의 인증값들을 갖는 복수의 나노 구조체의 너비 각각을 측정하는 단계;상기 나노 계측기를 의해 측정된 상기 복수의 나노 구조체 각각의 서로 다른 크기의 너비에 대한 측정값들을 일정한 기준으로 결정하는 단계; 및 상기 서로 다른 크기의 인증값들 및 상기 서로 다른 크기의 너비에 대한 상기 나노 계측기에 의한 측정값들을 이용하여 상기 나노 계측기의 측정 단위를 교정하는 단계를 포함하는, 나노 측정 단위 교정 방법
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11
청구항 10에 있어서,상기 나노 계측기의 측정 단위를 교정하는 단계는,상기 인증값을 x좌표, 상기 측정값을 y좌표로 하는 복수의 포인트를 xy좌표 평면에 나타내는 단계; 및 상기 복수의 포인트를 선형 피팅하여 1차 함수를 얻는 단계;를 포함하는, 나노 측정 단위 교정 방법
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12
청구항 11에 있어서,상기 나노 계측기의 측정 단위를 교정하는 단계는,상기 측정값에서 상기 1차 함수의 y절편을 차감한 후 상기 1차 함수의 기울기로 나누어 상기 측정값들을 교정하는 단계를 더 포함하는, 나노 측정 단위 교정 방법
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