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웨이퍼가 안착되는 척 조립체 및 상기 웨이퍼를 검사하기 위해 탐침이 형성되는 프로브 카드 조립체를 정렬 및 결합시키기 위한 멀티프로버 시스템용 얼라이너로서,상기 웨이퍼와 상기 탐침을 정렬시키도록 하는 얼라인척 및 상기 얼라인척 일측에 위치하여 상기 프로브 카드 조립체 및 상기 척 조립체의 위치를 촬영하는 촬영부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 촬영부는 제1 촬영부 및 제2 촬영부를 포함하고,상기 제1 촬영부는 상기 탐침의 위치를 검출하도록 형성되고, 상기 제2 촬영부는 상기 척 조립체의 위치를 검출하도록 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제2 항에 있어서,상기 제2 촬영부는 상기 얼라이너와 이격되도록 배치되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제1 항에 있어서,상기 척 조립체의 일면에 형성되는 제1 위치결정부 및상기 얼라인척은 일면에 상기 제1 위치결정부의 위치와 일치되도록 배치되고, 상기 제1 위치결정부와 대응되게 형성되는 제1 위치대응부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제4 항에 있어서,상기 제1 위치결정부는 상기 척 조립체의 일면에 돌출 형성되는 핀 형상으로 형성되고, 상기 제1 위치대응부는 상기 핀과 대응되게 홀 또는 홈 형상으로 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제4 항에 있어서,상기 얼라인척이 내부에 위치하고 상기 얼라인척을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 테두리부 및상기 테두리부 하부에 위치하고, 상기 얼라인척과 상기 테두리부에 결합되어 상기 테두리부를 회전시키는 락킹부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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7
제6 항에 있어서,상기 테두리부의 일면에 형성되는 제2 위치결정부 및상기 척 조립체의 일면에 상기 제2 위치결정부의 위치와 일치되도록 배치되고, 상기 제2 위치결정부와 대응되게 제2 위치대응부가 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제7 항에 있어서,상기 제2 위치결정부는 상기 테두리부의 일면에 돌출 형성되는 핀 형상으로 형성되고, 상기 제2 위치대응부는 상기 핀과 대응되게 홀 또는 홈 형상으로 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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9
제6 항에 있어서,상기 얼라인척의 중심부에 상기 척 조립체로부터 전기신호를 수신하기 위해 형성되는 커넥터를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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10
제9 항에 있어서,상기 얼라인척은 중심부에 중공홀이 형성되고, 상기 락킹부는 중심부에 중공부가 형성되되, 상기 중공홀과 상기 중공부는 상기 커넥터와 연결되는 전기배선이 결합되도록 동심축 상에 위치하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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11
제6 항에 있어서,상기 락킹부는,상기 얼라인척에 연결되는 내부몸체;상기 테두리부와 결합되어 상기 테두리부와 동시에 회전 가능하도록 형성되는 외부몸체 및 상기 내부몸체는 내륜에 결합되고 상기 외부몸체는 외륜에 결합되어 상기 내부몸체와 상기 외부몸체를 회전시키는 회전베어링을 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제11 항에 있어서,상기 외부몸체의 외측면에 결합되어 상기 외부몸체를 회전시키는 락킹구동부를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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13
제12 항에 있어서,상기 락킹구동부는,상기 외부몸체의 외주면을 감싸도록 형성되어 상기 외부몸체를 회전시키는 락킹벨트 및상기 락킹벨트를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 락킹모터를 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제13 항에 있어서,상기 외부몸체는,외측면에 상기 락킹벨트가 삽입되도록 외측면을 따라 락킹홈이 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제12 항에 있어서,상기 락킹구동부는,상기 외부몸체의 회전각도를 검출하는 락킹검출부재를 더 포함하는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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제15 항에 있어서,상기 외부몸체의 외주면에는 상기 락킹검출부재가 상기 외부몸체의 회전각도를 산출할 수 있도록 스케일 테이프가 형성되는 멀티프로버 시스템용 얼라이너
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웨이퍼를 검사하기 위한 탐침이 형성되는 프로브 카드 조립체;상기 웨이퍼를 지지하는 척 조립체 및상기 프로브 카드 조립체 및 상기 척 조립체를 정렬시킨 후 상기 프로브 카드 조립체 및 척 조립체를 결합시키는 제1 항 내지 제 16항 중 어느 한 항에 따른 얼라이너를 포함하는 멀티프로버 시스템
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