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고압 포화 증기 기술을 이용한 다공성 멤브레인 제작방법에 있어서,(a) 열가교형 고분자인 폴리디메틸 실록산(PDMS) 및 가교제를 혼합한 혼합액을 실리콘 웨이퍼에 스핀 코팅으로 코팅하는 코팅단계 및(b) 혼합액이 코팅된 실리콘 웨이퍼를 고압 포화 증기 기술을 이용하여 처리하는 가공단계를 포함하고,상기 (b) 단계는,고압 포화 증기 시스템의 챔버에 혼합액이 코팅된 실리콘 웨이퍼를 넣고, 챔버 내부 온도를 증가시켜 상기 혼합액의 내부기포를 상승시키는 내부기포 상승 단계;상기 내부기포 상승 단계에서의 챔버 내부 온도 보다 챔버 내부 온도를 증가시켜 상기 혼합액의 일부에서 가교가 진행되도록 하는 가교 단계;증기를 공급하여 챔버 내부 압력을 증가시켜 상기 혼합액의 내부기포를 가압시키는 내부기포 가압 단계 및수증기를 배출하여 챔버 내부 압력과 챔버 내부 온도를 낮춰 상기 혼합액의 내부기포가 서로 연결되도록 하는 내부기포 연결 단계를 포함하는 다공성 멤브레인 제작방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계는,상기 혼합액을 스핀 코팅하는 스핀 코터의 회전속도를 조절하여 다공성 멤브레인의 기공 특성 및 기계적 성질을 조절하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 제작방법
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제1항에 있어서,상기 내부기포 상승 단계는,상기 챔버 내부 온도를 10 내지 20분 동안 95 내지 105℃로 증가시키는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 제작방법
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제1항에 있어서,상기 가교 단계는,상기 챔버 내부 온도를 1 내지 5분동안 95 내지 105℃에서 115 내지 125℃까지 증가시키는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 제작방법
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제1항에 있어서,상기 내부기포 가압 단계는,115 내지 125℃에서 15 내지 25분동안 증기를 공급하여 챔버 내부 압력을 0
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제1항에 있어서,상기 내부기포 연결 단계는,35 내지 45분 동안 수증기를 배출하여 챔버 내부 압력을 0MPa로 낮추고, 챔버 내부 온도를 상온으로 낮추는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 제작방법
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