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레이저 빔을 발신하는 전송부;상기 전송부로부터 발신되는 레이저 빔을 수신하는 측정부; 및상기 측정부를 이동시키는 이동 장치를 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 전송부는,레이저 빔을 출력하는 레이저 출력부;상기 측정부를 추적할 수 있는 신호 추적부; 및상기 측정부를 지향하기 위해 상기 레이저 출력부의 지향 각도를 조절하는 제 1 구동부를 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 2 항에 있어서,상기 측정부는,상기 레이저 출력부에서 출력되는 레이저 빔을 입력받는 레이저 입력부를 포함하고,상기 레이저 입력부는,입력된 레이저 빔의 프로파일을 측정하는 프로파일 측정부를 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 레이저 입력부는,입력된 레이저 빔의 출력을 측정하는 출력 측정부를 더 포함하고,상기 레이저 측정 시스템은,상기 출력 측정부에서 측정되는 레이저 빔의 출력 크기가 설정 출력 크기 이상인지 여부를 통해 상기 측정부의 추적 상태를 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 측정 시스템
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제 4 항에 있어서,상기 레이저 입력부는,레이저 빔이 통과하는 경로 상에 설치되어 상기 레이저 빔의 일부를 각각 상기 출력 측정부 및 상기 프로파일 측정부를 향해 분리시키는 빔 스플리터; 및상기 빔 스플리터 및 상기 프로파일 측정부 사이의 경로에 설치되는 ND 필터를 더 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 4 항에 있어서,상기 측정부는,상기 레이저 입력부의 지향 각도를 조절하는 제 2 구동부; 및상기 이동 장치를 구동하여 상기 레이저 입력부를 이동시키고, 상기 제 2 구동부를 구동하여 이동중인 상기 레이저 입력부가 상기 레이저 출력부를 지향하도록 상기 레이저 입력부의 지향 각도를 조절하는 수신 제어부를 더 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 레이저 입력부는,레이저 빔이 입사되는 방향으로 노출되는 기준 신호부를 더 포함하고,상기 신호 추적부는,상기 기준 신호부의 형태 또는 정렬 상태를 촬영할 수 있는 카메라 센서인 것을 특징으로 하는 레이저 측정 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 이동 장치는,베이스;상기 베이스에 대해 제 1 방향으로 슬라이딩 이동하는 제 1 이동부; 및일측은 상기 레이저 입력부에 연결되고, 타측은 상기 제 1 이동부에 대해 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 슬라이딩 이동하는 제 2 이동부를 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 8 항에 있어서,상기 이동 장치는,상기 제 2 이동부의 이동 범위 양단에 설치되어 상기 레이저 입력부의 이동 충격을 완화하는 댐퍼를 더 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 8 항에 있어서,상기 이동 장치는,상기 레이저 입력부를 설정 범위 내에서 연속적으로 반복되는 경로를 따라서 이동시키는 것을 특징으로 하는 레이저 측정 시스템
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레이저 빔을 발신하는 전송부;상기 전송부로부터 발신되는 레이저 빔을 측정하고, 이동 가능한 측정부; 및상기 전송부가 상기 측정부를 지향하여 레이저 빔을 출력하도록 상기 전송부 및 상기 측정부의 구동을 제어하고, 상기 측정부를 상기 레이저 빔의 광축에 수직한 방향을 따라서 이동시키는 시스템 제어부를 포함하는 레이저 측정 시스템
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제 11 항에 있어서,상기 전송부는,레이저 빔을 출력하는 레이저 출력부;상기 측정부를 추적할 수 있는 신호 추적부; 및상기 측정부를 지향하기 위해 상기 레이저 출력부의 지향 각도를 조절하는 제 1 구동부를 포함하고,상기 측정부는,상기 레이저 출력부에서 출력되는 레이저 빔을 입력받아 레이저 빔의 프로파일을 측정하는 프로파일 측정부를 구비하는 레이저 입력부;상기 레이저 입력부의 지향 각도를 조절하는 제 2 구동부; 및상기 레이저 입력부를 연속적으로 이동시키는 이동 장치를 포함하는 레이저 측정 시스템
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전송부에서 출력되는 레이저 빔을 입력받아 측정하는 측정부를 지향하도록 정렬하는 단계;이동 장치를 구동하여 상기 측정부를 이동시키는 단계;상기 전송부로 하여금 상기 측정부를 향해 레이저 빔을 출력하는 단계; 및상기 측정부에 입력된 레이저 빔의 프로파일을 측정하는 단계를 포함하는 레이저 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 레이저 빔을 출력하는 단계 이전에 수행되고, 상기 전송부의 신호 추적부를 통해 상기 측정부의 위치를 확인하는 단계를 더 포함하고,상기 위치를 확인하는 단계에서 상기 측정부의 위치가 파악될 때까지 상기 정렬하는 단계가 반복 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 측정부에 입력된 레이저 빔의 출력 크기를 확인하는 단계를 더 포함하고,상기 출력 크기를 확인하는 단계에서 입력된 레이저 빔의 출력 크기가 설정 출력 크기 이상일 경우에, 상기 프로파일을 측정하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 측정부를 이동시키는 단계에서, 상기 측정부는 모서리가 둥근 폐곡선의 이동 경로를 따라서 반복적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 레이저 측정 방법
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제 16 항에 있어서,상기 측정부를 이동시키는 단계는,이동 중인 상기 측정부가 지속적으로 상기 전송부를 지향할 수 있도록, 상기 이동 경로상의 위치에 따라서 상기 측정부의 지향 각도를 조절하는 단계를 포함하는 레이저 측정 방법
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