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기준이 되는 레퍼런스 관통 전극(Through Silicon Via; TSV)을 이용하여 측정 대상 관통 전극의 고장 진단하는 인터커넥션 고장 진단 장치에 있어서, 상기 레퍼런스 관통 전극과 상기 측정 대상 관통 전극 각각에 저주파 입력신호를 입력하는 저주파신호 발생부;상기 저주파신호 발생부를 통해 상기 레퍼런스 관통 전극 및 상기 측정 대상 관통 전극을 통과한 저주파 출력신호로부터 아웃풋 신호(output signal) 차이를 비교하는 비교부; 및상기 비교부를 통과한 비교 결과를 이용하여 상기 측정 대상 관통 전극에 대한 고장 유무 및 고장 유형을 진단하는 고장 진단부를 포함하는 고장 진단 장치
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제1항에 있어서,상기 레퍼런스 관통 전극은복수의 관통 전극을 포함하는 관통 전극 다이(TSV die)와 일정 거리에 이격되어 위치하며, 상기 측정 대상 관통 전극의 비교대상이 되는, 고장 진단 장치
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제2항에 있어서,상기 저주파신호 발생부는상기 레퍼런스 관통 전극과 상기 관통 전극 다이에 형성된 복수의 관통 전극 중 어느 하나의 상기 측정 대상 관통 전극에 동일한 상기 저주파 입력신호를 입력하는, 고장 진단 장치
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제1항에 있어서,상기 저주파 입력신호는상기 비교부를 통과하여 상기 아웃풋 신호의 차이만큼 증폭하는, 고장 진단 장치
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제4항에 있어서,상기 비교부를 통해 증폭된 신호는ADC를 통해 디지털 값으로 변환되는, 고장 진단 장치
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제5항에 있어서,상기 비교부는상기 레퍼런스 관통 전극 및 상기 측정 대상 관통 전극을 통과하여 디지털 값으로 변환된 상기 저주파 출력신호로부터 각 관통 전극에 대한 상기 아웃풋 신호의 차이를 산출하여 비교하는, 고장 진단 장치
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제1항에 있어서,상기 고장 진단부는상기 아웃풋 신호의 차이로 인한 상기 비교 결과를 통해 1차적으로 상기 측정 대상 관통 전극에 대한 고장 유무를 판단하고, 2차적으로 주파수 가변을 통해 고장 유형을 판단하는 것을 특징으로 하는, 고장 진단 장치
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제7항에 있어서,상기 비교 결과는상기 아웃풋 신호의 차이가 없으면 0V, 상기 아웃풋 신호의 차이가 존재하면 차이 전압만큼 증폭되어 출력되는, 고장 진단 장치
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제1항에 있어서,상기 측정 대상 관통 전극에 대한 고장 유무 및 고장 유형의 진단 결과를 메모리에 저장하고, 디스플레이에 출력하는 제어부를 더 포함하는, 고장 진단 장치
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제9항에 있어서,상기 제어부는관통 전극의 고장을 진단하는 주기에 따라, 관통 전극 다이(TSV die)에 형성된 복수의 관통 전극 중에서 측정하고자 하는 어느 하나의 상기 측정 대상 관통 전극을 변경하여 지정하는, 고장 진단 장치
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기준이 되는 레퍼런스 관통 전극(Through Silicon Via; TSV)을 이용하여 측정 대상 관통 전극의 고장 진단하는 인터커넥션 고장 진단 방법에 있어서, 상기 레퍼런스 관통 전극과 상기 측정 대상 관통 전극 각각에 저주파 입력신호를 입력하는 단계;상기 레퍼런스 관통 전극 및 상기 측정 대상 관통 전극을 통과한 저주파 출력신호로부터 아웃풋 신호(output signal) 차이를 비교하는 단계; 및비교 결과를 이용하여 상기 측정 대상 관통 전극에 대한 고장 유무 및 고장 유형을 진단하는 단계를 포함하는 고장 진단 방법
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제11항에 있어서,상기 저주파 입력신호를 입력하는 단계는상기 레퍼런스 관통 전극과 상기 관통 전극 다이에 형성된 복수의 관통 전극 중 어느 하나의 상기 측정 대상 관통 전극에 동일한 상기 저주파 입력신호를 입력하는, 고장 진단 방법
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제12항에 있어서,상기 아웃풋 신호 차이를 비교하는 단계는상기 레퍼런스 관통 전극 및 상기 측정 대상 관통 전극을 통과하여 디지털 값으로 변환된 상기 저주파 출력신호로부터 각 관통 전극에 대한 상기 아웃풋 신호의 차이를 산출하여 비교하는, 고장 진단 방법
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제13항에 있어서,상기 고장 유무 및 고장 유형을 진단하는 단계는상기 아웃풋 신호의 차이로 인한 상기 비교 결과를 통해 1차적으로 상기 측정 대상 관통 전극에 대한 고장 유무를 판단하고, 2차적으로 주파수 가변을 통해 고장 유형을 판단하는 것을 특징으로 하는, 고장 진단 방법
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제11항에 있어서,상기 측정 대상 관통 전극에 대한 고장 유무 및 고장 유형의 진단 결과를 메모리에 저장하고, 디스플레이에 출력하는 단계; 및관통 전극의 고장을 진단하는 주기에 따라, 관통 전극 다이(TSV die)에 형성된 복수의 관통 전극 중에서 측정하고자 하는 어느 하나의 상기 측정 대상 관통 전극을 변경하여 지정하는 단계를 더 포함하는, 고장 진단 방법
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