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1
기판 및 상기 기판 위에 일정 선폭을 가지며 다각형, 또는 폐곡선의 형상으로 형성된 도체 전송 선로를 포함하고,상기 도체 전송 선로는, 두 부분이 단절되어 서로 이격된 제1 전송 선로, 및 제2 전송 선로로 구분되며, 상기 제1 전송 선로의 일단, 및 상기 제2 전송 선로의 일단으로 형성된 제1 수신 포트, 및상기 제1 전송 선로의 타단, 및 상기 제2 전송 선로의 타단으로 형성된 제2 수신 포트를 포함하는 프로브 안테나
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| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트의 입력 임피던스는,상기 제1 전송 선로, 및 상기 제2 전송 선로의 길이에 따라 결정되는 프로브 안테나
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| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 도체 전송 선로는, 상기 프로브 안테나에 입력되는 자기장에 의하여 루프 안테나로 동작하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트에 상기 자기장의 세기에 비례하는 전위차를 생성하는 프로브 안테나
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| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제1 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 전위 차와 크기가 동일하고, 방향이 서로 반대인 전위 차를 생성하는 프로브 안테나
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| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 도체 전송 선로는, 상기 프로브 안테나에 입력되는 전기장에 의하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트를 포함하는 전송 선로의 영역들이 각각 서로 다른 다이폴 안테나들로 동작하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트에 상기 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 생성하는 프로브 안테나
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| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 제1 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 전위 차와 크기 및 방향이 동일한 전위 차를 생성하는 프로브 안테나
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7
제1항에 있어서, 상기 제1 수신 포트는,상기 제1 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 합산하여 제1 출력 신호로 출력하고, 상기 제2 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호를 반전한 후, 전기장의 세기에 비례하는 전위차와 합산하여 제2 출력 신호로 출력하는 프로브 안테나
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8
제1항에 있어서, 상기 제1 수신 포트는,상기 제1 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호를 반전한 후, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 합산하여 제1 출력 신호로 출력하고, 상기 제2 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차와 합산하여 제2 출력 신호로 출력하는 프로브 안테나
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9
기판 및 상기 기판 위에 일정 선폭을 가지며 다각형, 또는 폐곡선의 형상으로 형성된 도체 전송 선로를 포함하는 프로브 안테나; 및상기 프로브 안테나의 출력 신호들을 이용하여 상기 프로브 안테나가 위치한 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 전력 밀도 측정기를 포함하고, 상기 도체 전송 선로는, 두 부분이 단절되어 서로 이격된 제1 전송 선로, 및 제2 전송 선로로 구분되며, 상기 제1 전송 선로의 일단, 및 상기 제2 전송 선로의 일단으로 형성된 제1 수신 포트, 및 상기 제1 전송 선로의 타단, 및 상기 제2 전송 선로의 타단으로 형성된 제2 수신 포트를 포함하고,상기 전력 밀도 측정기는,상기 제1 수신 포트에서 출력된 제1 출력 신호와 상기 제2 수신 포트에서 출력된 제2 출력 신호를 이용하여 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 전력 밀도 연산기를 포함하는 프로빙 시스템
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10
제9항에 있어서, 상기 도체 전송 선로는, 상기 프로브 안테나에 입력되는 자기장에 의하여 루프 안테나로 동작하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트에 상기 자기장의 세기에 비례하는 전위차를 생성하고,상기 프로브 안테나에 입력되는 전기장에 의하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트를 포함하는 전송 선로의 영역들이 각각 서로 다른 다이폴 안테나들로 동작하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트에 상기 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 생성하는 프로빙 시스템
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11
제9항에 있어서, 상기 프로브 안테나의 출력 신호들은 제1 출력 신호 및 제2 출력 신호를 포함하고,상기 제1 수신 포트는,상기 제1 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 합산하여 제1 출력 신호로 출력하며, 상기 제2 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호를 반전한 후, 전기장의 세기에 비례하는 전위차와 합산하여 제2 출력 신호로 출력하는 프로빙 시스템
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12
제9항에 있어서, 상기 프로브 안테나의 출력 신호들은 제1 출력 신호 및 제2 출력 신호를 포함하고,상기 제1 수신 포트는,상기 제1 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호를 반전한 후, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 합산하여 제1 출력 신호로 출력하며, 상기 제2 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차와 합산하여 제2 출력 신호로 출력하는 프로빙 시스템
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13
제9항에 있어서, 상기 전력 밀도 측정기는상기 제1 수신 포트에서 출력된 제1 출력 신호와 상기 제2 수신 포트에서 출력된 제2 출력 신호에서 각각 고주파 신호를 제거하여 직류 신호들을 추출하는 고주파 제거기를 더 포함하고, 상기 전력 밀도 연산기는,상기 제1 출력 신호에서 추출한 직류 신호와 상기 제2 출력 신호에서 추출한 직류 신호를 서로 차감한 결과에 기초하여 상기 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 프로빙 시스템
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14
기판 및 상기 기판 위에 일정 선폭을 가지며 다각형, 또는 폐곡선의 형상으로 형성된 도체 전송 선로를 포함하는 복수의 프로브 안테나들; 상기 프로브 안테나들 각각으로부터 수신한 출력 신호들로부터 직류 신호들을 추출하는 인덕터들;상기 인덕터들 각각에서 추출된 직류 신호들을 순차적으로 선택하는 스위치; 및선택된 직류 신호들을 이용하여 상기 프로브 안테나가 위치한 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 전력 밀도 연산기를 포함하고, 상기 도체 전송 선로는, 두 부분이 단절되어 서로 이격된 제1 전송 선로, 및 제2 전송 선로로 구분되며, 상기 제1 전송 선로의 일단, 및 상기 제2 전송 선로의 일단으로 형성된 제1 수신 포트, 및 상기 제1 전송 선로의 타단, 및 상기 제2 전송 선로의 타단으로 형성된 제2 수신 포트를 포함하고,상기 전력 밀도 연산기는,상기 제1 수신 포트에서 출력된 제1 출력 신호에서 추출한 직류 신호와 상기 제2 수신 포트에서 출력된 제2 출력 신호에서 추출한 직류 신호를 이용하여 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 프로빙 시스템
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15
프로브 안테나로부터 자기장의 세기에 비례하는 전위차, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차에 따른 출력 신호들을 수신하는 단계; 및상기 출력 신호들을 이용하여 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 단계를 포함하고,상기 프로브 안테나는, 두 부분이 단절되어 서로 이격된 제1 전송 선로, 및 제2 전송 선로로 구분되며, 상기 제1 전송 선로의 일단, 및 상기 제2 전송 선로의 일단으로 형성된 제1 수신 포트, 및 상기 제1 전송 선로의 타단, 및 상기 제2 전송 선로의 타단으로 형성된 제2 수신 포트를 포함하여 기판위에 형성되는 도체 전송 선로를 포함하고, 상기 도체 전송 선로는, 상기 프로브 안테나에 입력되는 자기장에 의하여 루프 안테나로 동작하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트에 상기 자기장의 세기에 비례하는 전위차를 생성하고,상기 프로브 안테나에 입력되는 전기장에 의하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트를 포함하는 전송 선로의 영역들이 각각 서로 다른 다이폴 안테나들로 동작하여 상기 제1 수신 포트 및 상기 제2 수신 포트에 상기 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 생성하는 전력 밀도 측정 방법
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제15항에 있어서, 상기 출력 신호들은 제1 출력 신호 및 제2 출력 신호를 포함하고,상기 제1 수신 포트는,상기 제1 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 합산하여 제1 출력 신호로 출력하며, 상기 제2 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호를 반전한 후, 전기장의 세기에 비례하는 전위차와 합산하여 제2 출력 신호로 출력하는 전력 밀도 측정 방법
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제15항에 있어서, 상기 출력 신호들은 제1 출력 신호 및 제2 출력 신호를 포함하고,상기 제1 수신 포트는,상기 제1 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호를 반전한 후, 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차를 합산하여 제1 출력 신호로 출력하며, 상기 제2 수신 포트는,상기 제2 수신 포트에서 출력되는 자기장의 세기에 비례하는 전위차의 부호 및 전기장의 세기에 비례하는 전위차와 합산하여 제2 출력 신호로 출력하는 전력 밀도 측정 방법
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제15항에 있어서, 상기 제1 수신 포트에서 출력된 제1 출력 신호와 상기 제2 수신 포트에서 출력된 제2 출력 신호에서 각각 고주파 신호를 제거하여 직류 신호들을 추출하는 단계를 더 포함하고, 상기 전력 밀도를 측정하는 단계는,상기 제1 출력 신호에서 추출한 직류 신호와 상기 제2 출력 신호에서 추출한 직류 신호를 서로 차감한 결과에 기초하여 상기 전자기장의 전력 밀도를 측정하는 전력 밀도 측정 방법
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제15항 내지 제18항 중 어느 한 항의 방법을 실행하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터에서 판독 가능한 기록 매체
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