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Zinc blende 구조를 가지는 II-V족 반도체 물질

  • 기술번호 : KST2021008191
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 II-V족 반도체 물질 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 현재까지 반도체 분야에서 일반적으로 알려진 IV족 반도체 또는 III-V족 반도체와는 전혀 다른, 기존의 화학 및 소재적 관점에서는 불가능하게 여겨진 원소 조합에서 zinc blende 구조를 가지는 II-V족 반도체 물질군 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 II-V족 반도체 물질 및 그 제조방법에 따르면, 기존에 존재하지 않았던 새로운 반도체 물질군을 비교적 낮은 제조 비용에서 다양한 원소 조합으로 제조할 수 있다. 본 발명의 II-V 족 반도체 물질은 다양한 밴드갭 특성을 나타낼 뿐만 아니라 반도체에서 가장 중요한 특성으로 여겨지는 이동도가 기존 실리콘 및 갈륨-비소 반도체보다 우수하며, 공기 및 물에서 구조 변화 및 산화 없이 안정한 상태를 나타낸다. 이와 같은 특성에 따라 태양전지, 발광소자, 고주파 신호처리 반도체 등의 분야에서 널리 활용될 수 있다.
Int. CL H01L 31/0328 (2006.01.01) H01L 33/26 (2010.01.01) H01L 31/036 (2006.01.01) H01L 33/16 (2010.01.01) C30B 1/02 (2006.01.01) C30B 11/00 (2006.01.01) C30B 11/02 (2006.01.01) C30B 29/40 (2006.01.01) C30B 33/00 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0328(2013.01) H01L 33/26(2013.01) H01L 31/036(2013.01) H01L 33/16(2013.01) C30B 1/02(2013.01) C30B 11/003(2013.01) C30B 11/02(2013.01) C30B 29/40(2013.01) C30B 33/00(2013.01)
출원번호/일자 1020190163859 (2019.12.10)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0073667 (2021.06.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.12.10)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성웅 서울특별시 강남구
2 송준성 경기도 수원시 장안구
3 송현용 서울특별시 성동구
4 방준호 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-1275858-11
2 보정요구서
Request for Amendment
2019.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0202120-16
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1354914-56
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0062322-61
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0283335-58
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2021-0641644-13
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.06.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0641645-58
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번호 청구항
1 1
하기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 II-V족 반도체 물질
2 2
제1항에 있어서,zinc blende 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질
3 3
제1항에 있어서,단결정, 다결정 또는 박막 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질
4 4
제1항에 있어서,상기 X의 일부가 Cu, Ag, Au, B, Al, Ga, In, Tl, Mg, Ca, Sr 또는 Ba로 치환된 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질
5 5
제1항에 있어서,상기 Y의 일부는 C, Si, Ge, Sn, Pb, O, S, Se 또는 Te로 치환된 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질
6 6
(a) 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속, X 그리고 Y를 반응 용기에 삽입하는 단계(여기서, X는 Zn, Cd, Hg이고, Y는 N, P, As, Sb, Bi임);(b) 상기 반응 용기에 삽입된 합성 원료를 반응하고 냉각하여 결정화하는 단계; (c) 상기 단계 (b)에서 얻어지는 화합물에서 알칼리금속 또는 알칼리토금속을 제거하는 단계;를 포함하는 단결정, 다결정 및 박막 형태의 II-V족 반도체 물질의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 II-V족 반도체 물질은 하기 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
8 8
제6항에 있어서,상기 반응은 400~1600℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
9 9
제6항에 있어서,상기 냉각은 반응 온도로부터 급냉 또는 서냉함을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 서냉은 반응온도에서 상온까지 시간당 200 ℃/hr
11 11
제6항에 있어서, (b) 단계에서 얻어진 시료를 이용하여 박막을 제조한 후((d) 단계), 생성된 박막에서 알칼리금속, 알칼리 토금속을 제거하는 단계, 또는 (c) 단계에서 얻어진 시료를 이용하여 박막을 제조하는 단계((e) 단계)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 박막 제조는 스퍼터링(sputtering), PLD(pulsed laser deposition), MBE(molecular beam epitaxial), CVD(chemical vapor deposition), evaporation 법 등을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
13 13
제6항에 있어서,상기 X의 일부를 Cu, Ag, Au, B, Al, Ga, In, Tl, Mg, Ca, Sr 또는 Ba로 치환하거나, 상기 Y의 일부를 C, Si, Ge, Sn, Pb, O, S, Se 또는 Te으로 치환하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 X, Y의 치환 공정은,상기 (a) 단계에서 치환할 원소 또는 치환할 원소가 포함된 화합물을 반응 용기에 함께 삽입하여 열처리하는 방법;청구항 6을 통하여 생성된 XY 단결정, 다결정 또는 박막에 치환할 원소 또는 치환할 원소가 포함된 화합물을 반응 용기에 함께 삽입하여 열처리하는 방법;청구항 6을 통하여 생성된 XY 단결정, 다결정 또는 박막을 치환할 원소가 포함된 가스 분위기에서 열처리하는 방법;을 이용하는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
15 15
제6항에 있어서,상기 단계 (c)는 유기용매, 물 또는 이들의 혼합물을 이용한 액상반응, 전기화학반응, 열처리 등을 이용하여 결정 내의 알칼리 금속 또는 알칼리 토금속 이온을 제거하는 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
16 16
제15항에 있어서,상기 유기용매는 환상 카보네이트계 용매, 쇄상 카보네이트계 용매, 에스테르계 용매, 에테르계 용매, 니트릴계 용매, 아미드계 용매 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 II-V족 반도체 물질의 제조방법
17 17
제1항의 II-V족 반도체 물질을 포함하는 전자소자
18 18
제1항의 II-V족 반도체 물질을 포함하는 광학소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 성균관대학교 미래소재디스커버리사업 1단계 4/5 [EZ]전자화물 안정화 및 기능특성 극대화를 위한 소재 인자 제어능 한계 극복 공정 기술 개발