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기판;기판 상의, 제1전극부;제1전극부 상의, 습도감지물질을 포함하는 습도감지물질부; 및습도감지물질부 상의, 무어(Moore)패턴 및 힐버트(Hilbert)패턴 중 적어도 어느 하나의 패턴을 포함하는 제2전극부;를 포함하는 정전용량형 습도센서
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청구항 1에 있어서,제1전극부는 플레이트형상인 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서
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청구항 1에 있어서,제2전극부는 제1전극부 유효면적의 50% 미만의 유효면적을 갖는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서
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청구항 1에 있어서,습도감지물질은 폴리이미드를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서
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청구항 4에 있어서,습도감지물질은 카본블랙을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서
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청구항 5에 있어서,카본블랙은 전체 습도감지물질의 중량을 기준으로 하여 0
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청구항 5에 있어서,습도감지물질은 분산제 및 첨가제를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 정전용량형 습도센서
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기판 상에 제1전극부를 형성하는 단계;제1전극부 상에 습도감지물질을 도포하여 습도감지물질부를 형성하는 단계; 및습도감지물질부 상에 무어(Moore)패턴 및 힐버트(Hilbert)패턴 중 적어도 어느 하나의 패턴을 포함하는 제2전극부를 형성하는 단계;를 포함하는 정전용량형 습도센서 제조방법
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