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1
상면에 단차에 의해 구분되는 제1 면과 제2 면이 형성되는 베이스 기판;상기 제1 면에 돌출 형성되는 마이크로-팁 구조;상기 제1 면과 제2 면 상에 형성되는 제1 절연층;상기 제1 면과 제2 면에 형성된 상기 제1 절연층 상에 형성되며 상기 단차에 의해 서로 이격되는 제1 전극과 제2 전극;상기 제1 전극과 제2 전극을 덮도록 형성되는 제2 절연층을 포함하는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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2
청구항 1에 있어서,상기 제1 면은 상기 제2 면보다 낮게 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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3
청구항 1에 있어서,상기 마이크로-팁 구조는 복수개가 서로 이격되는 어레이로 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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4
청구항 2에 있어서,상기 마이크로-팁 구조는 상기 제1 면에서 제2 면 방향으로 돌출 형성되되, 피라미드 형상을 갖는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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5
청구항 2에 있어서,상기 단차는 상기 제1 면에서 제2 면 방향으로 오목하게 형성되는 측면홈을 갖는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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6
청구항 1에 있어서, 상기 제1 면과 제2 면의 경계는 상기 마이크로-팁 구조에 인접하게 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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7
청구항 6에 있어서, 상기 제1 면과 제2 면의 경계는 상기 마이크로-팁 구조가 복수개 형성되는 경우, 상기 복수의 마이크로-팁 구조들 각각과 상기 제2 면의 거리가 일정하도록, 상기 복수의 마이크로-팁 구조들 사이로 상기 제2 면이 돌출되도록 결정되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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8
청구항 6에 있어서, 상기 제2 면은 상기 마이크로-팁을 향하여 돌출되는 첨단부를 갖도록 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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9
청구항 1에 있어서, 상기 제1 전극을 노출하는 제1 패드영역; 및상기 제2 전극을 노출하는 제2 패드영역을 더 포함하는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극
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10
실리콘 단결정 재질의 베이스 기판을 준비하는 기판준비단계;상기 베이스 기판의 상면에 마이크로-팁 구조가 형성될 영역과 제2 면이 형성될 영역만 커버하는 마스크를 형성하는 마스크 형성단계;상기 마스크에 의해 커버되지 않은 부분을 식각하여, 상기 제2 면보다 낮은 위치에 제1 면과 마이크로-팁 구조를 형성하고, 상기 제1 면과 제2 면을 구분하는 단차에 상기 제1 면에서 제2 면 방향으로 오목한 측면홈을 형성하는 식각단계;상기 제1 면과 제2 면 상에 제1 절연층을 형성하는 제1 절연층 형성단계;상기 제1 면과 제2 면의 상기 제1 절연층 상에 금속층을 형성하여, 상기 단차에 의해 분리되는 제1 전극과 제2 전극을 형성하는 전극형성단계; 및 상기 제1 전극과 제2 전극을 커버하도록 제2 절연층을 형성하는 제2 절연층 형성단계를 포함하는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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11
청구항 10에 있어서, 상기 마스크는 상기 마이크로-팁 구조가 형성될 영역을 커버하는 제1 마스크; 및 상기 제2 면이 형성될 영역을 커버하는 제2 마스크를 포함하며, 상기 제1 마스크는 하나 이상 형성되고, 상기 제2 마스크의 경계는 상기 제1 마스크에 인접하게 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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12
청구항 11에 있어서, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크가 복수개 형성되고 어레이로 형성되는 경우, 상기 제1 마스크의 사이로 돌출되도록 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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13
청구항 10에 있어서, 상기 제2 마스크는 상기 제1 마스크를 향하여 돌출되는 첨단부를 갖도록 형성되는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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14
청구항 10에 있어서, 상기 식각단계는 상기 마스크에 의해 커버되지 않은 상기 베이스 기판의 상면을 건식 식각하여 상기 제2 면보다 낮고 단차에 의해 구분되는 제1 면을 형성하고, 상기 마이크로-팁 구조가 형성될 영역에 기둥 형상의 필라 구조를 형성하는 제1 식각단계; 및 상기 제1 식각단계 이후에 습식 식각을 수행하여 상기 제1 면과 제2 면을 구분하는 단차에 상기 제1 면에서 제2 면 방향으로 오목한 측면홈을 형성하고, 상기 필라 구조의 측면을 내측으로 오목하게 식각하여 상기 필라 구조의 상부를 탈락시키고 상기 필라 구조의 하부에 피라미드 형상의 마이크로-팁 구조를 형성하는 제2 식각단계를 포함하는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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15
청구항 10에 있어서, 상기 전극형성단계는 상기 제2 면에 의해 가려지는 상기 단차의 측면홈에 상기 금속이 증착되지 않도록, 상기 베이스 기판의 상면에 수직한 방향으로 금속 입자를 증착시켜, 상기 제1 면과 마이크로-팁 구조를 커버하는 제1 전극 및 상기 제2 면을 커버하는 제2 전극을 형성하는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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16
청구항 10에 있어서, 상기 제1 전극과 제2 전극의 일부를 노출시키도록 상기 제2 절연층의 일부를 제거하고, 상기 제1 전극을 노출하는 제1 패드영역 및 상기 제2 전극을 노출하는 제2 패드영역을 형성하는 패드영역 형성단계를 더 포함하는, 마이크로-팁 구조를 갖는 DBD 전극 제조방법
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