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극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 있어서,상기 극저온 냉동기의 케이스에 설치되는 스프링;상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스프링은 판형 스프링이고, 상기 조절부는 상기 판형 스프링의 판면과 접촉하는 유효 길이 조절부; 및상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 판형 스프링의 판면과의 접촉 위치를 변경시키는 모터를 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 2 항에 있어서,상기 유효 길이 조절부는 상기 판형 스프링의 중앙을 중심으로 회전하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 2 항에 있어서,상기 모터는 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 케이스 외부에 위치하는 상기 유효 길이 조절부를 회전시키는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 2 항에 있어서,상기 밸런싱 질량은 상기 판형 스프링의 반경 방향 바깥쪽 자유단에 배치되는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스프링은 코일스프링이고, 상기 조절부는 상기 코일 스프링의 코일이 삽입되는 나선의 홈이 형성되는 유효 길이 조절부; 및상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 나선의 홈에 삽입되는 상기 코일의 길이를 변경시키는 모터를 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 6 항에 있어서,상기 유효 길이 조절부는 상기 코일스프링 내부에 삽입되고, 상기 나선의 홈은 상기 유효 길이 조절부의 외주면에 형성되는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 6 항에 있어서,상기 모터는 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 케이스 외부에 위치하는 상기 유효 길이 조절부를 회전시키는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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제 1 항에 있어서,상기 극저온 냉동기의 진동을 측정하는 센서; 및상기 센서로부터 측정된 값에 따라서 상기 조절부를 실시간으로 제어하는 제어부를 더 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치
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피스톤의 왕복 운동에 의해 주기적으로 발생하는 진동을 저감하기 위한 진동 저감 장치로서,상기 실린더 및 상기 피스톤을 내부에 수용하는 케이스에 설치되는 스프링;상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는 진동 저감 장치
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제 10 항에 있어서,진동을 측정하는 센서; 및상기 센서로부터 측정된 값에 따라서 상기 조절부를 실시간으로 제어하는 제어부를 더 포함하는 진동 저감 장치
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