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정렬이 균일한 레이저 광 패키지 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2021008588
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정렬이 균일한 레이저 광 패키지 및 그의 제조방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 틸팅(Tilting)이나 부정확한 정렬(Align)을 최소화한 칩 전사방법에 있어서, 기 설정된 간격마다 전사할 칩의 폭 또는 면적만큼 클램프 지그를 식각하는 식각과정과 상기 클램프 지그의 식각된 부위에 점착물질을 도포하는 도포과정과 임시 기판 상에 전사할 칩을 배치하는 배치과정과 상기 임시 기판에 배치된 칩을 상기 클램프 지그의 내 점착물질과 점착시키는 점착과정과 상기 임시 기판을 칩과 분리하는 제1 분리과정과 칩이 점착된 클램프 지그로 칩이 전사될 위치마다 전극 및 솔더볼이 형성된 기판을 접근시켜 칩과 상기 솔더볼을 접촉시키는 접촉과정과 상기 솔더볼과 접촉된 칩으로 레이저를 인가하는 인가과정 및 상기 클램프 지그를 칩으로부터 분리하는 제2 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 전사방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/50 (2006.01.01) H01S 5/40 (2006.01.01) H01S 5/022 (2021.01.01) H01S 5/042 (2006.01.01) G01S 7/4911 (2020.01.01) G01S 7/484 (2006.01.01)
CPC H01L 21/50(2013.01) H01S 5/40(2013.01) H01S 5/0237(2013.01) H01S 5/0425(2013.01) G01S 7/4911(2013.01) G01S 7/484(2013.01)
출원번호/일자 1020190168456 (2019.12.17)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0077145 (2021.06.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.12.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고명진 전라남도 광양시 가야로 ***
2 김영우 광주광역시 광산구
3 김진모 경기도 수원시 권선구
4 김정현 경기도 의정부시 용현로 *
5 문성재 광주광역시 광산구
6 신현호 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 *** A동, ***호(태정특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-1301729-85
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-1301764-73
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0061747-83
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2021.03.24 수리 (Accepted) 4-1-2021-5095035-96
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0304498-18
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2021-0686749-96
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.06.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0686755-60
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
틸팅(Tilting)을 최소화한 칩 전사방법에 있어서,기 설정된 간격마다 전사할 칩의 폭 또는 면적만큼 클램프 지그를 식각하는 식각과정;상기 클램프 지그의 식각된 부위에 점착물질을 도포하는 도포과정;임시 기판 상에 전사할 칩을 배치하는 배치과정;상기 임시 기판에 배치된 칩을 상기 클램프 지그의 내 점착물질과 점착시키는 점착과정;상기 임시 기판을 칩과 분리하는 제1 분리과정;칩이 점착된 클램프 지그로 칩이 전사될 위치마다 전극 및 솔더볼이 형성된 기판을 접근시켜 칩과 상기 솔더볼을 접촉시키는 접촉과정;상기 솔더볼과 접촉된 칩으로 레이저를 인가하는 인가과정; 및상기 클램프 지그를 칩으로부터 분리하는 제2 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
2 2
제1항에 있어서,상기 식각과정은,전사할 칩의 폭 또는 면적으로부터 기 설정된 오차 범위 내로 기 설정된 간격마다 상기 클램프 지그를 식각하는 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
3 3
제1항에 있어서,상기 칩은,레이저 다이오드(LD: Laser Diode)인 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
4 4
제1항에 있어서,상기 임시 기판은,상기 점착물질보다 점착력이 상대적으로 낮은 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
5 5
제1항에 있어서,상기 전극 및 솔더볼은,상기 기판 상에 전극과 상기 솔더볼 순으로 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
6 6
제1항에 있어서,상기 솔더볼은,레이저에 의해 녹는 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
7 7
제1항에 있어서,상기 배치과정은,상기 임시 기판 상에 상기 기 설정된 간격마다 상기 칩을 배치하는 것을 특징으로 하는 칩 전사방법
8 8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조되는 칩 모듈
9 9
틸팅(Tilting)을 최소화하는 클램프 지그 제조방법에 있어서,기 설정된 간격마다 전사할 칩의 폭 또는 면적만큼 클램프 지그를 식각하는 식각과정;상기 클램프 지그의 식각된 부위에 점착물질을 도포하는 도포과정;임시 기판 상에 전사할 칩을 배치하는 배치과정;상기 임시 기판에 배치된 칩을 상기 클램프 지그의 내 점착물질과 점착시키는 점착과정; 및상기 임시 기판을 칩과 분리하는 제1 분리과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 클램프 지그 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 식각과정은,전사할 칩의 폭 또는 면적으로부터 기 설정된 오차 범위 내로 기 설정된 간격마다 상기 클램프 지그를 식각하는 것을 특징으로 하는 클램프 지그 제조방법
11 11
제9항에 있어서,상기 칩은,레이저 다이오드(LD: Laser Diode)인 것을 특징으로 하는 클램프 지그 제조방법
12 12
제9항에 있어서,상기 임시 기판은,상기 점착물질보다 점착력이 상대적으로 낮은 것을 특징으로 하는 클램프 지그 제조방법
13 13
제9항에 있어서,상기 배치과정은,상기 임시 기판 상에 상기 기 설정된 간격마다 상기 칩을 배치하는 것을 특징으로 하는 클램프 지그 제조방법
14 14
제9항 내지 제13항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조되는 클램프 지그
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국광기술원 자율주행자동차핵심기술개발사업 자율주행 차량용 레이저 다이오드 및 전용 반도체 개발을 포함한 저가형 LiDAR 센서 개발