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1
전기장 인가에 따라 강성이 변화되는 제 1 탄성부;상기 제 1 탄성부 상부에 배치되는 제 1 전극부;상기 제 1 탄성부 하부에 배치되는 제 2 전극부;상기 제 2 전극부 하부에 배치되고 전기장 인가에 따라 압축되는 제 2 탄성부; 및상기 제 2 탄성부 하부에 배치되는 제 3 전극부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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2
제 1항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부는 제 1 전압 인가부와 연결되며, 상기 제 1 전압 인가부로부터 전압 인가시 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부 사이에 정전기적 인력이 발생되고 상기 제 1 탄성부는 압축되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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3
제 1항에 있어서,상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부는 제 2 전압 인가부와 연결되며, 상기 제 2 전압 인가부로부터 전압 인가시 상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부 사이에 정전기적 인력이 발생되고 상기 제 2 탄성부는 압축되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 4 |
4
제 2항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며, 상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 1 탄성부의 강성이 주기적으로 변화되고,상기 제 1 탄성부의 강성 변화에 따라 상기 진동 액추에이터의 탄성계수가 주기적으로 변화되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 5 |
5
제 3항에 있어서,상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며,상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 2 탄성부의 압축과 복원이 주기적으로 이루어지고,상기 제 2 탄성부의 압축 또는 복원에 따라 상기 진동 액추에이터가 주기적으로 진동되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 6 |
6
전기장 인가에 따라 강성이 변화되는 제 1 탄성부;상기 제 1 탄성부 상부에 배치되는 제 1 전극부;상기 제 1 탄성부 하부에 배치되는 제 2 전극부;상기 제 2 전극부 하부에 배치되고 전기장 인가에 따라 압축되는 제 2 탄성부;상기 제 2 탄성부 하부에 배치되는 제 3 전극부; 및상기 제 1 탄성부 양측 및 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부 사이에 배치되는 제 3 탄성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 7 |
7
제 6항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부는 제 1 전압 인가부와 연결되며, 상기 제 1 전압 인가부로부터 전압 인가시 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부 사이에 정전기적 인력이 발생되고 상기 제 1 탄성부 및 상기 제 3 탄성부는 압축되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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8
제 6항에 있어서,상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부는 제 2 전압 인가부와 연결되며, 상기 제 2 전압 인가부로부터 전압 인가시 상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부 사이에 정전기적 인력이 발생되고 상기 제 2 탄성부는 압축되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 9 |
9
제 7항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며, 상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 1 탄성부의 강성이 주기적으로 변화되고,상기 제 1 탄성부의 강성 변화에 따라 상기 진동 액추에이터의 탄성계수가 주기적으로 변화되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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10
제 7항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며,상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 3 탄성부의 압축과 복원이 주기적으로 이루어지고,상기 제 2 탄성부의 압축 또는 복원에 따라 상기 제 1 전극부 양측의 높낮이가 주기적으로 변동되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 11 |
11
제 8항에 있어서,상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며,상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 2 탄성부의 압축과 복원이 주기적으로 이루어지고,상기 제 2 탄성부의 압축 또는 복원에 따라 상기 진동 액추에이터가 주기적으로 진동되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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| 12 |
12
전기장 인가에 따라 적어도 일부의 강성이 변화되는 제 1 탄성부;상기 제 1 탄성부 상부에 배치되는 제 1 전극부;상기 제 1 탄성부 하부에 배치되는 제 2 전극부;상기 제 2 전극부 하부에 배치되고 전기장 인가에 따라 압축되는 제 2 탄성부;상기 제 2 탄성부 하부에 배치되는 제 3 전극부; 및상기 제 1 전극부 내에 형성되는 적어도 하나의 절연부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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13
제 12항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부는 제 1 전압 인가부와 연결되며, 상기 제 1 전압 인가부로부터 전압 인가시 상기 제 1 전극부 중 적어도 일부와 상기 제 2 전극부 사이에 정전기적 인력이 발생되고 상기 제 1 탄성부 중 적어도 일부는 압축되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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14
제 12항에 있어서,상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부는 제 2 전압 인가부와 연결되며, 상기 제 2 전압 인가부로부터 전압 인가시 상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부 사이에 정전기적 인력이 발생되고 상기 제 2 탄성부는 압축되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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15
제 12항에 있어서,상기 절연부는 상기 제 1 전극부를 복수의 구획으로 나누고,상기 제 1 전극부의 복수의 구획에는 선택적으로 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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16
제 15항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며, 상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 1 탄성부의 적어도 일부의 강성이 주기적으로 변화되고,상기 제 1 탄성부의 강성 변화에 따라 상기 진동 액추에이터의 탄성계수가 주기적으로 변화되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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17
제 14항에 있어서,상기 제 2 전극부와 상기 제 3 전극부에 인가되는 전압은 교류 전압이며,상기 전압의 인가 및 해제에 따라 상기 제 2 탄성부의 압축과 복원이 주기적으로 이루어지고,상기 제 2 탄성부의 압축 또는 복원에 따라 상기 진동 액추에이터가 주기적으로 진동되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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18
제 1항, 제 6항 및 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부의 극성은 서로 다르고, 상기 제 1 전극부와 상기 제 3 전극부의 극성은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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19
제 1항, 제 6항 및 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 탄성부 내에는 적어도 하나의 유전 입자가 배치되는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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20
제 1항, 제 6항 및 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 전극부, 상기 제 2 전극부 및 상기 제 3 전극부는 유연 전극인 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터
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