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기재;상기 기재 상에 형성된 감응층; 및 상기 감응층 상에 이격되어 배치된 제 1 전극 및 제 2 전극;을 포함하며,상기 감응층은 하나 이상의 나노 아일랜드형 모재; 및상기 모재의 표면에 형성되고 감응 물질을 포함하는 아일랜드 표면층;을 포함하며, 상기 모재는 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 것인, 수소 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 감응 물질은 Pt, Pd, Mg, Cr, Ir, Ru, ZnO 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 수소 센서
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제 2 항에 있어서, 상기 감응 물질은 Pt, Pd, 또는 Pt-Pd를 포함하는 것인, 수소 센서
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제 2 항에 있어서, 상기 감응 물질은 Pt, Pd, Mg 또는 Pd-Mg를 포함하는 것인, 수소 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 아일랜드 표면층의 두께는 3 nm 내지 15 nm인 것인, 수소 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 모재는 크기가 3 nm 내지 6 nm인 나노 아일랜드형 구조인 것인, 수소 센서
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7
제 1 항에 있어서, 상기 모재가 금속일 때, 상기 수소 센서는 수소를 감지함에 따라 저항이 증가하는 것인, 수소 센서
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8
제 1 항에 있어서, 상기 모재가 금속 산화물일 때, 상기 수소 센서는 수소를 감지함에 따라 저항이 감소하는 것인, 수소 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 수소 센서의 수소에 대한 반응 시간은 10초 미만인 것인, 수소 센서
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10
제 1 항에 있어서, 상기 수소 센서의 수소에 대한 회복 시간은 30초 미만인 것인, 수소 센서
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기재 상에 나노 아일랜드형 모재를 형성하는 단계; 상기 모재 상에 감응 물질을 포함하는 아일랜드 표면층을 형성하여 감응층을 형성하는 단계; 상기 감응층 상에 이격되어 배치된 제 1 전극 및 제 2 전극을 형성하여 수소 센서를 제조하는 단계; 및 상기 수소 센서를 어닐링하는 단계;를 포함며, 상기 모재는 금속 또는 금속 산화물을 포함하는 것인, 수소 센서의 제조 방법
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12
제 11 항에 있어서, 상기 어닐링하는 단계는 20℃ 내지 400℃의 온도 하에서 이루어지는 것인, 수소 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 감응 물질은 Pt, Pd, Mg, Cr, Ir, Ru, ZnO 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 수소 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 아일랜드 표면층의 두께는 5 nm 내지 15 nm인 것인, 수소 센서의 제조 방법
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