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1
전사필름과, 상기 전사필름의 상부에 점착되는 마이크로 소자 어레이를 준비하는 준비단계; 상기 마이크로 소자 어레이가 각각의 마이크로 소자로 분리되도록 상기 마이크로 소자 어레이를 제1방향을 따라 제1방향 전면절단선을 생성하면서 자르되, 상기 제1방향 전면절단선이 상기 전사필름을 완전히 절단하지 않도록 상기 전사필름의 상부로부터 미리 정해진 전면절단깊이로 자르는 전면절단단계; 상기 전사필름의 하부를 제1방향 배면절단선을 생성하면서 자르되, 상기 제1방향 배면절단선은 상기 제1방향 전면절단선의 사이에서 상기 제1방향으로 형성되도록 하고, 상기 제1방향 배면절단선에 의해 상기 전사필름이 완전히 절단되지 않도록 미리 정해진 배면절단깊이로 자르는 배면절단단계; 상기 전사필름을 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 인장시켜 상기 마이크로 소자를 목표간격만큼 이격시키는 인장단계; 그리고 상기 마이크로 소자를 타깃기판에 상기 목표간격으로 전사시키는 전사단계를 포함하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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전사필름과, 상기 전사필름의 상부에 점착되는 마이크로 소자 어레이를 준비하는 준비단계;상기 마이크로 소자 어레이가 각각의 마이크로 소자로 분리되도록 상기 마이크로 소자 어레이를 제1방향을 따라 제1방향 전면절단선을 생성하면서 자르고, 상기 제1방향에 교차하는 제2방향을 따라 제2방향 전면절단선을 생성하면서 자르되, 상기 제1방향 전면절단선 및 상기 제2방향 전면절단선이 상기 전사필름을 완전히 절단하지 않도록 상기 전사필름의 상부로부터 미리 정해진 전면절단깊이로 자르는 전면절단단계; 상기 전사필름의 하부를 제1방향 배면절단선 및 제2방향 배면절단선을 생성하면서 자르되, 상기 제1방향 배면절단선은 상기 제1방향 전면절단선의 사이에 상기 제1방향으로 형성되도록 하고, 상기 제2방향 배면절단선은 상기 제2방향 전면절단선의 사이에 상기 제2방향으로 형성되도록 하며, 상기 제1방향 배면절단선 및 상기 제2방향 배면절단선에 의해 상기 전사필름이 완전히 절단되지 않도록 미리 정해진 배면절단깊이로 자르는 배면절단단계; 상기 전사필름을 상기 제1방향 및 상기 제2방향 중 어느 하나 이상의 방향으로 인장시켜 상기 마이크로 소자를 목표간격만큼 이격시키는 인장단계; 그리고 상기 마이크로 소자를 타깃기판에 상기 목표간격으로 전사시키는 전사단계를 포함하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제2방향으로 인장시켰을 때, 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 제1방향 배면절단선은 해당 마이크로 소자의 경계를 형성하는 한 쌍의 상기 제1방향 전면절단선 사이의 정가운데에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1방향 배면절단선은 각각의 상기 마이크로 소자의 경계를 형성하는 한 쌍의 상기 제1방향 전면절단선의 사이에 서로 이격되어 나란하게 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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5
제4항에 있어서, 상기 제1방향 전면절단선과 상기 제1방향 전면절단선의 일측에 인접하는 제1방향 배면절단선 사이의 폭 및 상기 제1방향 전면절단선과 상기 제1방향 전면절단선의 타측에 인접하는 제1방향 배면절단선 사이의 폭으로 정의되는 절단폭은 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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6
제5항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 인장시켰을 때 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 절단폭은 상기 전사필름의 전체에 걸쳐 모두 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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7
제5항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 인장시켰을 때 이웃하는 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제1목표간격과, 이웃하는 다른 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제2목표간격이 서로 달라지도록, 상기 절단폭은 상기 전사필름의 영역별로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1방향 전면절단선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분 및 상기 제1방향 배면절단선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분에서 크랙이 전파되지 않도록, 상기 전사필름에는 상기 제1방향 전면절단선에 의해 갈라지는 부분 및 상기 제1방향 배면절단선에 의해 갈라지는 부분이 포함되도록 제1크랙전파방지홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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9
제2항에 있어서,상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제1방향으로 인장시켰을 때, 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 제2방향 배면절단선은 해당 마이크로 소자의 경계를 형성하는 한 쌍의 상기 제2방향 전면절단선 사이의 정가운데에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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10
제2항에 있어서, 상기 제2방향 배면절단선은 각각의 상기 마이크로 소자의 경계를 형성하는 한 쌍의 상기 제2방향 전면절단선의 사이에 서로 이격되어 나란하게 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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11
제10항에 있어서, 상기 제2방향 전면절단선과 상기 제2방향 전면절단선의 일측에 인접하는 제2방향 배면절단선 사이의 폭 및 상기 제2방향 전면절단선과 상기 제2방향 전면절단선의 타측에 인접하는 제2방향 배면절단선 사이의 폭으로 정의되는 절단폭은 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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12
제11항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제1방향으로 인장시켰을 때 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 절단폭은 상기 전사필름의 상기 제1방향 전체에 걸쳐 모두 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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13
제11항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제1방향으로 인장시켰을 때 이웃하는 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제3목표간격과, 이웃하는 다른 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제4목표간격이 서로 달라지도록, 상기 절단폭은 상기 전사필름의 영역별로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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14
제2항에 있어서, 상기 제2방향 전면절단선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분 및 상기 제2방향 배면절단선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분에서 크랙이 전파되지 않도록, 상기 전사필름에는 상기 제2방향 전면절단선에 의해 갈라지는 부분 및 상기 제2방향 배면절단선에 의해 갈라지는 부분이 포함되도록 제2크랙전파방지홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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15
마이크로 소자가 점착되는 상부에는 제1방향을 따라 형성되고, 상기 전사필름의 상부로부터 미리 정해진 전면홈깊이로 형성되는 제1방향 전면홈선을 가지고, 하부에는 상기 제1방향 전면홈선의 사이에서 상기 제1방향으로 형성되고, 상기 전사필름의 하부로부터 미리 정해진 배면홈깊이로 형성되는 제1방향 배면홈선을 가지는 전사필름을 마련하는 준비단계;상기 전사필름의 상부에 복수의 상기 마이크로 소자를 포함하는 마이크로 소자 어레이를 점착시키는 점착단계; 상기 마이크로 소자 어레이가 각각의 상기 마이크로 소자로 분리되도록 상기 마이크로 소자 어레이를 상기 제1방향 전면홈선에 대응되도록 절단하는 절단단계; 상기 전사필름을 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 인장시켜 상기 마이크로 소자를 목표간격만큼 이격시키는 인장단계; 그리고 상기 마이크로 소자를 타깃기판에 상기 목표간격으로 전사시키는 전사단계를 포함하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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16
마이크로 소자가 점착되는 상부에는 제1방향을 따라 형성되고 상기 전사필름의 상부로부터 미리 정해진 전면홈깊이로 형성되는 제1방향 전면홈선 및 상기 제1방향에 교차하는 제2방향을 따라 형성되고 상기 전면홈깊이로 형성되는 제2방향 전면홈선을 가지고, 하부에는 상기 제1방향 전면홈선의 사이에서 상기 제1방향으로 형성되고 상기 전사필름의 하부로부터 미리 정해진 배면홈깊이로 형성되는 제1방향 배면홈선 및 상기 제2방향 전면홈선의 사이에서 상기 제2방향으로 형성되고 상기 배면홈깊이로 형성되는 제2방향 배면홈선을 가지는 전사필름을 마련하는 준비단계;상기 전사필름의 상부에 복수의 상기 마이크로 소자를 포함하는 마이크로 소자 어레이를 점착시키는 점착단계; 상기 마이크로 소자 어레이가 각각의 상기 마이크로 소자로 분리되도록 상기 마이크로 소자 어레이를 상기 제1방향 전면홈선 및 상기 제2방향 배면홈선에 대응되도록 절단하는 절단단계; 상기 전사필름을 상기 제1방향 및 상기 제2방향 중 어느 하나 이상의 방향으로 인장시켜 상기 마이크로 소자를 목표간격만큼 이격시키는 인장단계; 그리고 상기 마이크로 소자를 타깃기판에 상기 목표간격으로 전사시키는 전사단계를 포함하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제2방향으로 인장시켰을 때, 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 제1방향 배면홈선은 해당 마이크로 소자의 경계에 대응되는 한 쌍의 상기 제1방향 전면홈선 사이의 정가운데에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 제1방향 배면홈선은 각각의 상기 마이크로 소자의 경계에 대응되는 한 쌍의 상기 제1방향 전면홈선의 사이에 서로 이격되어 나란하게 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제18항에 있어서, 상기 제1방향 전면홈선과 상기 제1방향 전면홈선의 일측에 인접하는 제1방향 배면홈선 사이의 폭 및 상기 제1방향 전면홈선과 상기 제1방향 전면홈선의 타측에 인접하는 제1방향 배면홈선 사이의 폭으로 정의되는 홈 사이의 폭은 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제19항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 인장시켰을 때 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 홈 사이의 폭은 상기 전사필름의 전체에 걸쳐 모두 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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21
제19항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 인장시켰을 때 이웃하는 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제1목표간격과, 이웃하는 다른 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제2목표간격이 서로 달라지도록, 상기 홈 사이의 폭은 상기 전사필름의 영역별로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 제1방향 전면홈선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분 및 상기 제1방향 배면홈선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분에서 크랙이 전파되지 않도록, 상기 전사필름에는 상기 제1방향 전면홈선에 의해 갈라지는 부분 및 상기 제1방향 배면홈선에 의해 갈라지는 부분이 포함되도록 제3크랙전파방지홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제16항에 있어서,상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제1방향으로 인장시켰을 때, 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 제2방향 배면홈선은 해당 마이크로 소자의 경계에 대응되는 한 쌍의 상기 제2방향 전면홈선 사이의 정가운데에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제16항에 있어서, 상기 제2방향 배면홈선은 각각의 상기 마이크로 소자의 경계에 대응되는 한 쌍의 상기 제2방향 전면홈선의 사이에 서로 이격되어 나란하게 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제24항에 있어서, 상기 제2방향 전면홈선과 상기 제2방향 전면홈선의 일측에 인접하는 제2방향 배면홈선 사이의 폭 및 상기 제2방향 전면홈선과 상기 제2방향 전면홈선의 타측에 인접하는 제2방향 배면홈선 사이의 폭으로 정의되는 홈 사이의 폭은 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제25항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제1방향으로 인장시켰을 때 각각의 상기 마이크로 소자 사이의 상기 목표간격이 동일해지도록, 상기 홈 사이의 폭은 상기 전사필름의 상기 제1방향 전체에 걸쳐 모두 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제25항에 있어서, 상기 인장단계에서 상기 전사필름을 상기 제1방향으로 인장시켰을 때 이웃하는 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제3목표간격과, 이웃하는 다른 한 쌍의 마이크로 소자 사이의 제4목표간격이 서로 달라지도록, 상기 홈 사이의 폭은 상기 전사필름의 영역별로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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제16항에 있어서, 상기 제2방향 전면홈선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분 및 상기 제2방향 배면홈선에 의해 상기 전사필름이 갈라지는 부분에서 크랙이 전파되지 않도록, 상기 전사필름에는 상기 제2방향 전면홈선에 의해 갈라지는 부분 및 상기 제2방향 배면홈선에 의해 갈라지는 부분이 포함되도록 제4크랙전파방지홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
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필름몸체; 마이크로 소자가 점착되는 상기 필름몸체의 상부에 제1방향을 따라 형성되는 제1방향 전면홈선; 그리고 상기 필름몸체의 하부에 상기 제1방향 전면홈선의 사이에서 상기 제1방향으로 형성되는 제1방향 배면홈선을 포함하고, 상기 제1방향 전면홈선은 상기 필름몸체의 상부로부터 미리 정해진 전면홈깊이로 형성되고, 상기 제1방향 배면홈선은 상기 필름몸체의 하부로부터 미리 정해진 배면홈깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 전사필름
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필름몸체; 마이크로 소자가 점착되는 상기 필름몸체의 상부에 제1방향을 따라 형성되는 제1방향 전면홈선; 상기 필름몸체의 상부에 상기 제1방향에 교차하는 제2방향을 따라 형성되는 제2방향 전면홈선; 상기 필름몸체의 하부에 상기 제1방향 전면홈선의 사이에서 상기 제1방향으로 형성되는 제1방향 배면홈선; 그리고 상기 필름몸체의 하부에 상기 제2방향 전면홈선의 사이에 상기 제2방향으로 형성되는 제2방향 배면홈선을 포함하고, 상기 제1방향 전면홈선 및 상기 제2방향 전면홈선은 상기 필름몸체의 상부로부터 미리 정해진 전면홈깊이로 형성되고, 상기 제1방향 배면홈선 및 상기 제2방향 배면홈선은 상기 필름몸체의 하부로부터 미리 정해진 배면홈깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 전사필름
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