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고정 베이스에 설치된 X축 액추에이터에 의해서 X축을 따라서 왕복하여 이동 가능하게 상기 고정 베이스 상에 분리 가능하게 결합되는 X축 이동 모듈; Y축 액추에이터에 의해서 Y축을 따라서 왕복하여 이동 가능하게 상기 X축 이동 모듈 상에 분리 가능하게 결합되는 Y축 이동 모듈; 제1 회전 액추에이터에 의해서 양방향으로 회전 가능하게 상기 Y축 이동 모듈 상에 분리 가능하게 결합되는 회전 모듈; 틸트 액추에이터에 의해서 양방향으로 틸팅 가능하게 상기 회전 모듈 상에 분리 가능하게 결합되는 틸트 모듈; 및 제2 회전 액추에이터에 의해서 양방향으로 회전 가능하게 상기 틸트 모듈 상에 분리 가능하게 결합되고, 상기 제2 회전 액추에이터 및 상기 틸트 액추에이터에 의해서 회전 및 틸팅이 독립적으로 가능한 틸트 회전 모듈; 를 포함하되, 상기 X축 이동 모듈, 상기 Y축 이동 모듈, 상기 회전 모듈, 상기 틸트 모듈, 및 상기 틸트 회전 모듈이 독립적으로 분리되고 재조립되도록 구성된 것을 특징으로 하는 모듈화 샘플 스테이지
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제 1 항에 있어서, 상기 X축 이동 모듈의 일측에 분리 가능하게 결합되는 제1 볼스크류 가이드; 및 상기 볼스크류 가이드 안으로 분리 가능하게 스크류 결합되는 제1 볼스크류; 를 포함하고, 상기 X축 이동모터는 상기 제1 볼스크류를 회전시켜 상기 제1 볼스크류 가이드와 상기 X축 이동 모듈을 이동시키도록 상기 고정 베이스에 분리 가능하게 결합되되, 상기 제1 볼스크류 가이드와 상기 X축 이동 모듈, 또는 상기 X축 이동모터와 상기 고정 베이스 중 적어도 하나는 각각 돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 모듈화 샘플 스테이지
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제 1 항에 있어서, 상기 X축 이동 모듈의 일측에 분리 가능하게 결합되고, 상기 Y축 이동모터가 돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 분리 가능하게 결합되는 받침대; 상기 Y축 이동 모듈의 타측에 분리 가능하게 결합되는 제2 볼스크류 가이드; 및 상기 제2 볼스크류 가이드 안으로 분리 가능하게 스크류 결합되는 제2 볼스크류; 를 포함하고, 상기 Y축 이동모터는 상기 제2 볼스크류를 회전시켜 상기 제2 볼스크류 가이드와 상기 Y축 이동 모듈을 이동시키도록 상기 X축 이동 모듈에 결합되되, 상기 X축 이동 모듈과 상기 받침대, 상기 Y축 이동모터와 상기 받침대, 상기 제2 볼스크류 가이드와 상기 Y축 이동 모듈, 및 상기 Y축 이동모터와 상기 X축 이동 모듈 중 적어도 하나는 돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 모듈화 샘플 스테이지
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제 1 항에 있어서, 상기 Y축 이동 모듈에 분리 가능하게 결합되는 회전 모듈 베이스; 및 제1 롤러링을 통해서 상기 회전 모듈 베이스에서 분리 및 회전 가능하게 결합되고, 하면에 회전방향을 따라서 제1 랙기어가 형성된 회전 모듈; 을 포함하고, 상기 제1 회전 액추에이터는 상기 제1 랙기어에 치합된 제1 피니언기어를 회전시켜 상기 회전 모듈을 회전시키도록 상기 Y축 이동 모듈에 조립되되, 상기 Y축 이동 모듈과 상기 회전 모듈 베이스, 및 상기 제1 회전 액추에이터와 상기 Y축 이동 모듈 중 적어도 하나는 돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 모듈화 샘플 스테이지
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제 1 항에 있어서,돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 상기 회전 모듈에 분리 가능하게 결합된 장착 브라켓을 통해서 틸팅 가능하게 배치되는 틸트 모듈; 및 상기 회전 모듈의 일면에 분리 가능하게 결합되는 웜휠기어; 를 포함하고, 상기 틸트 액추에이터는 상기 웜휠기어에 치합된 웜기어를 회전시켜 상기 틸트 모듈을 틸팅시키도록 상기 회전모듈에 결합되되,상기 회전 모듈과 상기 장착 브라켓, 및 상기 틸트 액추에이터와 상기 회전 모듈 중 적어도 하나는 돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 모듈화 샘플 스테이지
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제 1 항에 있어서, 상기 틸트 회전 모듈은 제2 롤러링을 통해서 상기 틸트 모듈 상에서 회전 가능하게 결합되고, 일면에 회전방향을 따라서 제2 랙기어가 형성되며, 상기 제2 회전 액추에이터는 상기 제2 랙기어에 치합된 제2 피니언기어를 회전시켜 상기 틸트 회전 모듈을 회전시키며, 돌출부와 홈의 결합구조를 통해서 상기 틸트 모듈에 분리 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 모듈화 샘플 스테이지
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