| 1 |
1
다결정 AlN이 주 결정상을 이루고 YAG(Y3Al5O12)와 SmAlO3가 이차상을 이루고 있는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 질화알루미늄 소결체는 97%보다 높은 상대밀도를 나타내는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 질화알루미늄 소결체는 130 W/mK보다 높은 열전도도를 나타내는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 질화알루미늄 소결체는 9
|
| 5 |
5
AlN 분말, Y2O3 분말 및 Sm2O3 분말을 혼합하는 단계;상기 AlN 분말, 상기 Y2O3 분말 및 상기 Sm2O3 분말의 혼합 분말을 성형하는 단계; 및성형된 결과물을 소결하여 AlN 소결체를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 혼합 분말은 상기 Y2O3 분말 0
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 질화알루미늄 소결체는 97%보다 높은 상대밀도를 나타내는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
|
| 7 |
7
제5항에 있어서, 상기 질화알루미늄 소결체는 130 W/mK보다 높은 열전도도를 나타내는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
|
| 8 |
8
제5항에 있어서, 상기 질화알루미늄 소결체는 9
|
| 9 |
9
제5항에 있어서, 상기 성형은,혼합 분말을 가압 성형하는 단계; 및 가압 성형된 결과물을 냉간정수압성형하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 가압 성형은 30∼50 MPa의 압력으로 수행하고,상기 냉간정수압성형은 150∼250 MPa의 압력으로 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
|
| 11 |
11
제5항에 있어서, 상기 소결은 1700∼1900℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
|
| 12 |
12
제5항에 있어서, 상기 소결은 비활성 가스 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
|
