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a) LAS계 분말 및 알루미나(Al2O3) 분말을 포함하는 원료분말을 준비하는 단계;b) 상기 원료분말 및 고분자 바인더를 포함하는 성형재료를 가압 성형하여 성형체를 제조하는 단계; 및c) 상기 성형체를 소결하는 단계;를 포함하는 저열팽창 LAS계 세라믹 소재의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 a)단계는,ⅰ) LAS계 분말, 알루미나 분말 및 제1분산제를 포함하는 제1슬러리를 밀링하고 건조한 후 1차 분쇄하는 단계;ⅱ) 상기 1차 분쇄된 분쇄물을 하소 처리하는 단계;ⅲ) 상기 하소 처리된 분쇄물을 2차 분쇄하는 단계; 및ⅳ) 상기 2차 분쇄된 분쇄물 및 제2분산제를 포함하는 제2슬러리를 밀링하고 건조한 후 3차 분쇄하여 원료분말을 제조하는 단계;를 포함하는, 저열팽창 LAS계 세라믹 소재의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 LAS계 분말은 탄산리튬(Li2CO3) 분말, 알루미나(Al2O3) 분말, 실리카(SiO2) 분말, 탄산칼슘(CaCO3) 분말 및 이산화티타늄(TiO2) 분말을 포함하는 분말혼합물로부터 제조된 분말인, 저열팽창 LAS계 세라믹 소재의 제조방법
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제 3항에 있어서,상기 분말혼합물은 탄산리튬(Li2CO3) 분말 5 내지 15 중량%, 알루미나(Al2O3) 분말 10 내지 20 중량%, 실리카(SiO2) 분말 60 내지 75 중량%, 탄산칼슘(CaCO3) 분말 1 내지 5 중량% 및 이산화티타늄(TiO2) 분말 0
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제 4항에 있어서,상기 탄산리튬(Li2CO3) 분말 : 알루미나(Al2O3) 분말 : 실리카(SiO2) 분말의 몰비는 1 : 1 내지 1
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제 1항에 있어서,상기 LAS계 분말:알루미나 분말의 중량비는 10:90 내지 60:40인, 저열팽창 LAS계 세라믹 소재의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 LAS계 분말은 β-스포듀민 상(phase)인, 저열팽창 LAS계 세라믹 소재의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 원료분말:고분자 바인더의 중량비는 99:1 내지 99
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제 1항 내지 제 8항에서 선택되는 어느 한 항의 제조방법으로 제조되며,β-스포듀민 1차상(primary phase) 기지 내에 뮬라이트 및 커런덤 중 선택되는 어느 하나 이상의 2차상(secondary phase)이 함입된 저열팽창 LAS계 세라믹 소재
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제 9항에 있어서,상기 저열팽창 LAS계 세라믹 소재는 20~30℃ 온도 구간에서 열팽창계수가 3×10-6 m/(m℃) 이하이며, 굽힘강도가 150 ㎫ 이상인, 저열팽창 LAS계 세라믹 소재
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제 8항에 있어서,상기 저열팽창 LAS계 세라믹 소재는 하기 계산식 1로 산출되는 상대밀도가 99% 이상인, 저열팽창 LAS계 세라믹 소재
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제 9항의 저열팽창 LAS계 세라믹 소재를 포함하는 다이싱 장비용 스테이지
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