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화학 성분으로 SiO2 32∼52 몰%, Al2O3 5∼15 몰%, CaO 30∼55 몰% 및 CaF2 0
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제1항에 있어서, 상기 CaO와 상기 CaF2는 2
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제1항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리의 유리전이온도(Tg)는 750℃ 보다 낮은 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리
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제1항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리의 결정화 온도(Tc)는 1090℃ 보다 낮은 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리
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제1항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리의 유리 안정성 지수 KH는 아래의 식으로 표현되고,(여기서, Tg는 유리전이온도, Tc는 결정화온도, Tl은 액상 선 온도)상기 내플라즈마 유리는 2
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6
제1항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리는 불소(fluorine)와 아르곤(Ar)의 혼합 플라즈마 환경에 사용되는 유리이고, 상기 내플라즈마 유리는 불소(fluorine)와 아르곤(Ar)의 혼합 플라즈마에 대하여 식각률이 10 nm/min보다 낮은 내플라즈마 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리
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7
제1항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리는 화학 성분으로 Y2O3 0
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제1항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리는 화학 성분으로 ZrO2 0
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SiO2 분말, Al2O3 전구체, CaO 전구체 및 CaF2 분말을 혼합하여 내플라즈마 유리 원료를 준비하는 단계;상기 내플라즈마 유리 원료를 산화 분위기에서 용융시키는 단계;용융물을 급속 냉각하는 단계; 급속 냉각된 결과물을 유리전이온도보다 높은 온도에서 열처리하는 단계; 및열처리된 결과물을 서냉하여 내플라즈마 유리를 수득하는 단계를 포함하며, 상기 내플라즈마 유리는 화학 성분으로 SiO2 32∼52 몰%, Al2O3 5∼15 몰%, CaO 30∼55 몰% 및 CaF2 0
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제9항에 있어서, 상기 열처리는 상기 내플라즈마 유리의 유리전이온도(Tg) 보다 높고 상기 내플라즈마 유리의 결정화온도(Tc) 보다 낮은 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 Al2O3 전구체는 Al(OH)3 분말을 포함하고,상기 CaO 전구체는 CaCO3 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리 원료는 Y2O3 분말을 더 포함하고,상기 내플라즈마 유리는 화학 성분으로 Y2O3 0
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제9항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리 원료는 ZrO2 분말을 더 포함하고,상기 내플라즈마 유리는 화학 성분으로 ZrO2 0
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제9항에 있어서, 상기 CaO와 상기 CaF2는 2
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제9항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리의 유리전이온도(Tg)는 750℃ 보다 낮은 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리의 결정화 온도(Tc)는 1090℃ 보다 낮은 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리의 유리 안정성 지수 KH는 아래의 식으로 표현되고,(여기서, Tg는 유리전이온도, Tc는 결정화온도, Tl은 액상 선 온도)상기 내플라즈마 유리는 2
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제9항에 있어서, 상기 내플라즈마 유리는 불소(fluorine)와 아르곤(Ar)의 혼합 플라즈마 환경에 사용되는 유리이고, 상기 내플라즈마 유리는 불소(fluorine)와 아르곤(Ar)의 혼합 플라즈마에 대하여 식각률이 10 nm/min보다 낮은 내플라즈마 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 유리의 제조방법
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