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패턴을 가지는 템플릿 상에 나노 구조체를 형성하여 리시버 기판에 나노 패턴을 전사하는 방법으로서,수용성 고분자로 형성되며, 패턴을 가지는 템플릿을 준비하는 단계;상기 템플릿의 패턴 상에 나노 구조체를 형성하는 단계;상기 리시버 기판 상에 상기 템플릿을 배치시키고, 상기 템플릿에 수분을 공급하는 단계; 및상기 템플릿에 공급된 수분에 의해 상기 템플릿이 용해되어 상기 나노 구조체가 상기 리시버 기판 상에 전사되는 단계;를 포함하고,상기 리시버 기판 상에 상기 템플릿을 배치시키는 단계에서는,상기 나노 구조체가 형성된 상기 템플릿의 상면이 상부를 향하도록 하고, 상기 템플릿의 하면이 상기 리시버 기판과 마주하도록 하여, 상기 템플릿을 상기 리시버 기판 상에 배치키는 것을 특징으로 하는,나노 패턴 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 나노 구조체를 형성하는 단계에서는,상기 템플릿의 패턴 상에 나노 구조체를 경사 증착하는,나노 패턴 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 템플릿에 수분을 공급하는 단계는,물에 젖은 와이퍼 위에 상기 리시버 기판을 올려두어 상기 리시버 기판을 통해 상기 템플릿에 수분이 공급되도록 하는 단계;를 더 포함하는 나노 패턴 전사 방법
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제4항에 있어서,상기 템플릿에 수분을 공급하는 단계는,상기 물에 젖은 와이퍼 밑에 마른 와이퍼를 접촉시켜, 상기 템플릿이 용해되어 형성되는 템플릿 수용액이 상기 마른 와이퍼에 의해 흡수되도록 하는 단계;를 더 포함하는 나노 패턴 전사 방법
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제4항 또는 제5항에 있어서,상기 템플릿에 수분을 공급하는 단계는,상기 리시버 기판 상부에 수분을 추가로 공급하여 잔여 템플릿을 용해시키는 단계;를 더 포함하는 나노 패턴 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 수용성 고분자는 히알루론산인,나노 패턴 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 리시버 기판은 물을 흡수하거나 통과시킬 수 있는 물질로 이루어지는,나노 패턴 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 리시버 기판은 섬유인,나노 패턴 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 나노 구조체는 금속 또는 비금속으로 형성되는,나노 패턴 전사 방법
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