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제1기판; 제1전극층; 전기변색층; 전해질층; 이온저장층; 및 제2전극층;을 포함하는 전기변색소자로서, 전해질층은 Ta2O5층이고,전해질층의 적어도 일면에 Ta2O5, 수소이온 투입을 위한 H2P 및 Li계 고체전해질을 포함하는 수소이온주입층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 1에 있어서, Li계 고체전해질은 LiPON, NASICON, 페로브스카이트 및 Garnet 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 1에 있어서, 수소이온주입층은 두께가 1nm 내지 30nm인 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 1에 있어서, 전해질층은 두께가 10nm 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 1에 있어서, 수소이온주입층 및 이온저장층 사이에, 계면 부반응을 제어하고, 이온 주입 시의 저항을 감소시키는 버퍼층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 5에 있어서, 버퍼층은 산화물 및 Li계 고체전해질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 1에 있어서, 제1기판 및 제1전극층을 통해 유입된 불순물의 진행을 억제하는 제1배리어층; 및 제2전극층 상에 외부로부터 유입된 불순물의 진행을 억제하는 제2배리어층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 7에 있어서, 제1배리어층은 AZO, ITO, GZO 및 IZO 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 7에 있어서, 제2배리어층은 Al2O3, SiO2, SiONx 및 TiO2 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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청구항 1에 있어서, 제1기판 및 제2기판은 연성기판인 것을 특징으로 하는 전기변색소자
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제1기판 상에 제1전극층을 형성하는 단계; 제1전극층 상에 전기변색층을 형성하는 단계;전기변색층 상에 전해질층을 형성하는 단계; 전해질층 상에 이온저장층을 형성하는 단계; 및이온저장층 상에 제2전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 전기변색소자 제조방법으로서, 전해질층은 Ta2O5를 스퍼터링 공정으로 적층하여 형성하고, 전해질층의 적어도 일면에 Ta2O5, 수소이온 투입을 위한 H2P 및 Li계 고체전해질을 원자층 증착공정으로 수소이온주입층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기변색소자 제조방법
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