요약 | 본 발명에 의해 적용된 금속 전극 소재는 결정성이 존재하지 않는 비정질 금속 소재이며, 탄성 변형 한계가 우수하고, Al 등 반응성이 높은 금속이 포함되어 있으면서도, 공정에 사용되는 다양한 화학소재에 대한 내산화성을 확보하고 있음. |
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Int. CL | H01L 51/44 (2006.01.01) |
CPC | H01L 51/441(2013.01) D10B 2401/18(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020190177754 (2019.12.30) |
출원인 | 한국전자기술연구원 |
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공개번호/일자 | 10-2021-0085087 (2021.07.08) 문서열기 |
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법적상태 | 공개 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 국내출원/신규 |
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심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 3 |