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피처리 기판에 기능성 용액을 코팅하는 방법으로서, 코팅 장치의 스테이지에 피처리 기판을 로딩하는 단계(S10); 로딩된 피처리 기판의 표면에 상기 기능성 용액을 코팅하는 단계(S30); 및피처리 기판을 건조하는 단계(S40);를 포함하며,상기 기능성 용액이 수nm 내지 100nm의 크기를 가지며 가시광 대역에 속하는 국소 표면 플라즈몬 공명(LSPR) 파장을 갖는 플라즈몬 활성 금속의 나노입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기능성 용액이, 상기 플라즈몬 활성 금속의 나노입자를 포함하는 금속 나노입자 코어; 및상기 금속 나노입자 코어를 둘러싸며, (i) 불소(F)를 함유한 금속산화물, (ii) 실란계 화합물이 표면에 부착된 금속산화물, (iii) 실란계 화합물, 및 (iv) 소수성 고분자 화합물, 중 하나로 이루어진 쉘;로 구성된 코어-쉘 구조의 이중 레이어 입자를 함유하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기능성 용액을 코팅하는 단계(S30) 이전에, 로딩된 피처리 기판의 표면이 친수성을 갖도록 표면처리하는 단계(S20)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기능성 용액을 코팅하는 단계(S30) 이후에, 코팅된 피처리 기판을 섭씨 100도 내지 300도 사이의 소정 온도에서 소성하는 단계(S50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기능성 용액을 코팅하는 단계(S30) 이후에, 코팅된 피처리 기판의 표면에 소수성 물질을 코팅하는 단계(S60)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 소수성 물질이 소수성 고분자 화합물, 왁스계 물질, 또는 이들의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 기능성 용액을 코팅하는 단계(S30)에서, 상기 기능성 용액에 함유된 이중 레이어 입자의 입자크기에 따라 블레이드 코팅, 슬롯 다이 코팅, 및 컨벡티브 코팅 중 하나의 코팅 방식으로 코팅하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 기능성 용액 코팅 방법을 수행하는 코팅 장치로서, 피처리 기판을 흡착하여 지지하는 스테이지(20); 상기 스테이지의 상부 또는 하부에 배치되어 피처리 기판을 가열하여 기능성 용액을 건조시키기 위한 히터(25); 및 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동 가능하도록 구성되고 상기 스테이지에 흡착된 피처리 기판의 표면에 기능성 용액을 코팅하는 코팅 헤드(100);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 코팅 헤드(100)가, 피처리 기판의 폭방향으로 길게 배열된 블레이드(130); 상기 블레이드의 일측 방향으로 인접하여 배치된 하나 이상의 제1 노즐(110); 및 상기 블레이드의 타측 방향으로 인접하여 배치된 하나 이상의 제2 노즐(120);을 포함하고, 상기 블레이드의 하부 표면이 상기 일측 방향을 향하도록 경사진 경사면(131)으로 형성된 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제1 노즐의 상단에 결합된 제1 회동기구(115); 및 상기 블레이드의 상단에 결합된 제2 회동기구(135);를 더 포함하고, 상기 제1 회동기구에 의해 제1 노즐이 상기 블레이드를 향해 소정 각도 범위 내에서 회동 가능하고, 상기 제2 회동기구에 의해 블레이드가 상기 제1 노즐을 향해 또는 제2 노즐을 향해 소정 각도 범위 내에서 회동 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 장치
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제 9 항에 있어서, 기능성 용액을 제1 노즐과 제2 노즐로 각각 공급하는 제1 및 제2 공급관; 및상기 제1 공급관에 배치된 제1 개폐밸브(105); 및 상기 제2 공급관에 배치된 제2 개폐밸브(106);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 기능성 용액을 코팅하는 단계(S30)를 수행하기 전에 상기 블레이드의 표면이 친수성으로 표면 처리된 것을 특징으로 하는 기능성 용액 코팅 장치
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