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측정대상체가 세팅되는 시료부와;상기 측정대상체로 소정의 조사광을 조사하는 광원부와;상기 측정대상체로부터 반사되는 반사광을 수광하는 수광부와;상기 반사광의 편광상태를 변환하기 위해 상기 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 상기 반사광을 서로 다른 다수의 편광상태로 변환하는 편광유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 편광유닛은 상기 반사광을 서로 다른 편광상태로 변환할 수 있도록 상호 상이한 형상의 패턴을 갖는 다수의 단위편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제2 항에 있어서,상기 단위편광부는 상기 패턴들이 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 소정의 편광각을 갖도록 연장된 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 90°인 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 45°인 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 편광각이 135°인 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제3 항에 있어서,상기 단위편광부들중 하나는 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 편광유닛은 좌우방향으로 연장된 가상의 중심선을 기준으로 90°의 편광각을 가지는 제1 단위편광부와;상기 가상의 중심선을 기준으로 45°의 편광각을 가지는 제2 단위편광부와;상기 가상의 중심선을 기준으로 135°의 편광각을 가지는 제3 단위편광부와; 상기 가상의 중심선과 나란하게 형성된 패턴으로 이루어지는 제4 단위편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제8 항에 있어서,상기 편광유닛은 상기 제1 내지 4 단위편광부가 상호 인접되게 각각 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제8 항에 있어서,상기 제2 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 우측 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제8 항에 있어서,상기 제3 단위편광부는 상기 제1 단위편광부의 하단 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제8 항에 있어서,상기 제4 단위편광부는 상기 제2 단위편광부의 하단 가장자리 및 상기 제3 단위편광부의 우측 가장자리에 결합되는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제8 항에 있어서,상기 제1 내지 4 단위편광부는 상기 반사광의 경로상과 동일한 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 박막두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 광원부는 광원과;상기 광원으로부터 조사된 조사광을 확장하는 확장부와;상기 확장된 조사광을 선형 편광시키는 선형편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는박막두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 수광부는상기 측정대상체로부터 반사된 반사광의 경로상에 배치되는 것으로서, 특정 편광상태를 유도하는 위상지연판과;상기 위상지연판을 통과한 반사광을 수광하는 이미징렌즈와;상기 이미징렌즈와 연결되며, 상기 이미징렌즈에서 수광된 광을 파장별로 분광하는 분광부와;상기 분광부로부터 분광된 광의 파장별 광학적 데이터를 분석하여 이미지 형태의 데이터를 추출하는 데이터추출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막두께 측정장치
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