| 1 |
1
중심점으로부터 외측을 향하여 사각형 나선으로 형성된 안테나를 포함하는 제 1 안테나부; 및 상기 제 1 안테나부와 상기 중심점을 기준으로 대칭 구조를 형성하는 안테나를 포함하는 제 2 안테나부를 포함하고, 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부에 포함된 안테나의 사각형 나선의 모서리마다 루프(loop)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 루프는 각형 또는 곡선형으로 형성된 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부에 포함된 안테나는 동일한 평면상에 놓여진 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부에 포함된 안테나는 상기 모서리를 제외한 부분에서 평행하고, 동일한 간격을 유지하는 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 5 |
5
중심점으로부터 외측을 향하여 사각형 나선으로 형성된 안테나를 포함하는 제 1 안테나부; 상기 제 1 안테나부와 상기 중심점을 기준으로 대칭 구조를 형성하는 안테나를 포함하는 제 2 안테나부; 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부의 안테나의 중심점에 연결된 전력부; 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부의 안테나의 외측 말단점에 연결된 접지부; 및 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부의 안테나와 형성되는 플라즈마가 기 설정된 거리를 유지하도록 상기 안테나를 지지하는 안테나 지지대를 포함하고, 상기 기 설정된 거리는 상기 안테나와 상기 전력부 및 상기 접지부와의 거리에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 안테나부 및 상기 제 2 안테나부에 포함된 안테나의 사각형 나선의 모서리마다 루프(loop)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서, 상기 기 설정된 거리는 상기 안테나가 상기 전력부와 가까울수록 짧은 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 8 |
8
제 5 항에 있어서, 상기 기 설정된 거리는 상기 안테나가 상기 접지부와 가까울수록 긴 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 9 |
9
제 5 항에 있어서, 상기 안테나 지지대는 상기 결정된 기 설정된 거리를 유지하기 위해 상기 안테나의 부분마다 상이한 길이를 갖는 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
| 10 |
10
제 5 항에 있어서, 상기 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조는 상기 안테나를 지지하기 위한 상기 안테나 지지대가 설치되는 안테나 쉴드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조
|
