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반도체 공장용 위치보정방법

  • 기술번호 : KST2021009651
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체공장용 위치보정장치를 이용한 위치보정방법에 있어서, 먼저 카메라를 이용하여 반도체 공장의 라인 상에 배치된 피사체의 사진을 캡쳐하여 정지상태의 2차원 영상신호를 생성한다. 이어서, 흑백화부를 이용하여 상기 2차원 영상신호로부터 2차원 흑백형태의 영상신호를 생성한다. 이후에, 이진화부를 이용하여 상기 2차원 흑백형태의 영상신호로부터 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호를 생성한다. 계속해서, 사각형검출부를 이용하여 상기 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호로부터 사각형 형태의 이미지들을 검출한다. 이어서, 사각형추출부를 이용하여 상기 검출된 사각형 중에서 기설정된 조건에 맞는 사각형을 가공대상이 되는 물체의 사각형 이미지로 인식하여 추출한다. 이후에, 보정부를 이용하여 상기 추출된 사각형 이미지의 위치 및 기울기를 계산하여 보정데이터로 출력한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) B25J 9/16 (2006.01.01) G06T 5/00 (2019.01.01) G06T 7/11 (2017.01.01)
CPC H01L 21/67259(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) B25J 9/1692(2013.01) B25J 9/1697(2013.01) G06T 5/007(2013.01) G06T 7/11(2013.01)
출원번호/일자 1020190179083 (2019.12.31)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0085717 (2021.07.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.12.31)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노재경 광주광역시 북구
2 이재근 대전광역시 서구
3 이인식 대구광역시 달서구
4 한상조 경상북도 포항시 남구
5 최성주 충청남도 천안시 동남구
6 최용규 충청북도 청주시 청원구 향군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-1360056-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0063852-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0326387-64
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0723761-47
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-0723762-93
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번호 청구항
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반도체 공장의 라인 상에 배치되는 카메라와, 상기 카메라에 연결되는 캡쳐유닛과, 상기 캡쳐유닛에 연결되는 흑백화부, 상기 흑백화부에 연결되는 이진화부, 상기 이진화부에 연결되는 사각형검출부, 상기 사각형검출부에 연결되는 사각형추출부, 및 상기 사각형추출부에 연결되는 보정부를 구비하는 정보처리부재를 포함하는 반도체공장용 위치보정장치를 이용한 위치보정방법에 있어서,상기 카메라를 이용하여 상기 반도체 공장의 라인 상에 배치된 피사체의 사진을 캡쳐하여 정지상태의 2차원 영상신호를 생성하는 단계;상기 흑백화부를 이용하여 상기 2차원 영상신호로부터 2차원 흑백형태의 영상신호를 생성하는 단계;상기 이진화부를 이용하여 상기 2차원 흑백형태의 영상신호로부터 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호를 생성하는 단계;상기 사각형검출부를 이용하여 상기 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호로부터 사각형 형태의 이미지들을 검출하는 단계;상기 사각형추출부를 이용하여 상기 검출된 사각형 중에서 기설정된 조건에 맞는 사각형을 가공대상이 되는 물체의 사각형 이미지로 인식하여 추출하는 단계; 및상기 보정부를 이용하여 상기 추출된 사각형 이미지의 위치를 확인하고 기울기를 계산하여 보정데이터로 출력하는 단계를 포함하는 반도체공장용 위치보정방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 피사체의 사진을 캡쳐하여 정지상태의 2차원 영상신호를 생성하는 단계는,상기 카메라를 이용하여 상기 피사체의 이미지 데이터를 생성하는 단계; 및상기 캡쳐유닛을 이용하여 상기 이미지 데이터를 상기 정지산태의 2차원 영상신호로 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체공장용 위치보정방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호로부터 사각형 형태의 이미지들을 검출하는 단계는,상기 2차원 이진수 데이터 형태의 영상신호들 중에서 흑색(0)과 백색(1)이 교차하는 영역들을 연결한 선을 검출하는 단계; 및상기 검출된 선들이 4개 연결되는 이미지를 추출하여 사각형으로 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체공장용 위치보정방법
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제1항에 있어서, 상기 가공대상이 되는 물체의 사각형 이미지로 인식하여 추출하는 단계는,상기 사각형 이미지의 4개 꼭지점에 관한 2차원 좌표를 분석하여 상기 4개 꼭지점의 중심을 상기 가공대상이 되는 물체의 위치로 산정하는 단계; 및상기 4개 꼭지점들 중에서 인접하는 꼭지점들의 기울기를 평균하여 상기 가공대상이 되는 물체의 기울기로 산정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체공장용 위치보정방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.