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복수의 압전 세라믹층과 상기 복수의 압전 세라믹층 간에 개재된 복수의 내부전극의 적층체로 구성되는 세라믹 액츄에이터의 제조방법에 있어서,상기 압전 세라믹층은 내환원성의 세라믹스 조성물로 구성되고, 상기 세라믹스 조성물과 유기물을 함유한 복수의 그린시트를 제조하고 상기 복수의 그린시트 각각의 표면상에 Cu 금속 소재의 전극을 형성한 후 상기 복수의 그린시트를 적층하여 그린 바를 형성하는 단계와;형성된 상기 그린 바를 대기 분위기하에서 200~300℃ 온도 범위로 열처리하여 1차 탈지하고, 그 다음 환원 분위기하에서 400~600℃ 온도 범위로 열처리하여 2차 탈지하는 단계와;상기 2차 탈지된 상기 그린 바를 환원 분위기하에서 850~1000℃ 온도 범위로 동시 소성하여 상기 압전 세라믹층을 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 환원 분위기는 산소 분압 log PO2가 -5
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 2차 탈지는 상기 1차 탈지된 상기 그린 바를 서냉한 후 승온시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 동시 소성은 상기 2차 탈지된 상기 그린 바를 서냉한 후 승온시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 동시 소성은 상기 2차 탈지가 완료된 후 바로 승온시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 세라믹스 조성물은 Li2O-Bi2O3가 첨가된 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 조성인 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 Li2O-Bi2O3의 첨가량은 상기 세라믹스 조성물의 총량대비 7wt% 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 세라믹스 조성물은MgO 및 Nb2O5의 각 시료를 혼합하고 하소하여 MgNb2O6 조성의 분말을 합성하는 단계와;상기 MgNb2O6 조성의 분말에 PbO 및 TiO2의 각 시료를 혼합하고 하소하여 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 조성의 분말을 합성하는 단계와;상기 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 조성의 분말에 Li2O-Bi2O3 조성의 분말을 혼합하여 상기 Li2O-Bi2O3가 첨가된 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 조성의 분말을 합성하는 단계를 포함하여 제조되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 환원 분위기는 N2, wet N2, N2＋3%H2 중의 하나 이상의 가스로 제어되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 1차 탈지는 10~48시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 2차 탈지는 10~30시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 동시 소성은 2~5시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 유기물은 분산제, 바인더 및 가소제 중의 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 1차 탈지와 2차 탈지 및 상기 동시 소성 중의 하나 이상은 3~5℃/분 범위의 속도로 승온되는 것을 특징으로 하는 세라믹 액츄에이터의 제조방법
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