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유전체를 준비하는 제1 단계와,상기 유전체의 양면에 전극판이 겹치지 않게 배치하되 상기 전극판의 단부가 상기 유전체의 외부로 돌출되도록 하는 제2 단계와,상기 전극판이 배치된 유전체의 상하면에 그 중앙에 개구가 형성된 상부 케이스와 하부 케이스를 맞대어 체결하여 상기 유전체와 상기 전극판이 밀착되도록 하는 제3 단계를 포함하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 단계는 상기 유전체의 하면에 제1 전극판을 배치하되 상기 유전체의 일단에서 제1 전극판의 단부가 돌출되도록 하고, 상기 유전체의 상면에 제2 전극판을 배치하되 상기 유전체의 타단에서 제2 전극판의 단부가 돌출되도록 하는 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 단계는 상기 유전체의 하면에 제1 전극판을 배치하고 상기 유전체의 상면에 제2 전극판을 배치하되 제1 전극판의 단부와 제2 전극판의 단부가 모두 상기 유전체의 일단 또는 타단에서 돌출되도록 하는 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치의 제조 방법
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4
유전체, 상기 유전체의 하면에 배치되어 그 단부가 상기 유전체로부터 돌출된 제1 전극판, 및 상기 유전체의 하면에 상기 제1 전극판이 배치된 영역과 중첩되지 않게 상기 유전체의 상면에 배치되어 그 단부가 상기 유전체로부터 돌출된 제2 전극판을 포함하는 방전 구조체와, 상기 방전 구조체의 하면에 위치하며 그 중앙에 개구가 형성된 하부 케이스와,상기 방전 구조체의 상면에 위치하며 그 중앙에 개구가 형성된 상부 케이스를 포함하여, 상기 하부 케이스와 상기 상부 케이스가 체결되어 상기 방전 구조체의 하우징을 이루고, 상기 하부 케이스와 상기 상부 케이스의 체결 시 가압력에 의해 상기 유전체의 양면에 배치된 제1 전극판과 제2 전극판이 상기 유전체의 양면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치
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5
제4항에 있어서,상기 제1 전극판의 단부는 상기 하우징의 일측에 노출되어 있고 상기 제2 전극판의 단부는 상기 하우징의 타측에 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치
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6
제4항에 있어서,상기 제1 전극판의 단부와 상기 제2 전극판의 단부는 모두 상기 하우징의 일측 또는 타측에 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치
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7
삭제
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제4항에 있어서,상기 개구에는 메쉬 형태의 구조물이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치
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유전체, 상기 유전체의 하면에 배치되어 그 단부가 상기 유전체로부터 돌출된 제1 전극판, 및 상기 유전체의 하면에 상기 제1 전극판이 배치된 영역과 중첩되지 않게 상기 유전체의 상면에 배치되어 그 단부가 상기 유전체로부터 돌출된 제2 전극판을 포함하는 방전 구조체와, 상기 유전체의 양면에 배치된 제1 전극판과 제2 전극판이 상기 유전체의 양면에 밀착되고 상기 제1 전극판의 단부와 상기 제2 전극판의 단부가 노출되도록 그 중앙에 개구가 형성된 하부 케이스와 상부 케이스가 체결되어 상기 방전 구조체를 내장하는 하우징을 포함하는 양면 방전 플라즈마 발생 장치; 및 상기 하우징에서 노출된 상기 제1 전극판의 단부와 상기 제2 전극판의 단부가 접속되는 단자를 구비하고 단자를 통해 상기 양면 방전 플라즈마 발생 장치와 결합하여 상기 방전 구조체에 전력을 공급하는 전력공급장치를 포함하는 양면 방전 플라즈마 발생 시스템
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제9항에 있어서,상기 전력공급장치는 상기 양면 방전 플라즈마 장치를 거치하는 거치대인 것을 특징으로 하는 양면 방전 플라즈마 발생 시스템
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