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캐소드와 애노드를 포함하는 전자빔 방출장치;상기 전자빔 방출장치에서 방출되는 전자빔이 조사되며, 상호 접합되는 전기전도성 재질의 제1모재와 비전기전도성 재질의 제2모재를 포함하는 접합대상물이 위치되는 챔버;상기 접합대상물의 표면에 위치되며, 인가되는 전류에 의해 유도가열로서 상기 접합대상물의 제1모재를 가열하는 인덕션 코일;상기 전자빔 방출장치에서 조사되는 전자빔이 상기 접합대상물의 제2모재를 가열하고, 상기 인덕션 코일이 상기 접합대상물의 제1모재를 가열하도록 제어하여, 상기 제1모재와 제2모재를 서로 다른 가열원으로서 각각 독립적으로 가열하는 제어부;를 포함하는 이종재질 브레이징 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 제1모재 및 제2모재의 단위시간당 열팽창량이 동일하도록 제어하는 이종재질 브레이징 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 제1모재 및 제2모재의 단위시간당 열수축량이 동일하도록 제어하는 이종재질 브레이징 장치
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제1항에 있어서,상기 인덕션 코일은 상기 접합대상물의 제2모재의 표면상에 위치되는 이종재질 브레이징 장치
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제1항에 있어서,상기 인덕션 코일은 상기 접합대상물의 제1모재의 표면상에 위치되는 이종재질 브레이징 장치
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제1항에 있어서,상기 인덕션 코일은 내부에 냉각수가 유동되도록 중공의 단면을 가지도록 형성되는 이종재질 브레이징 장치
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제1항에 있어서,상기 접합대상물의 제2모재의 전자빔이 조사되는 면에 연접되어 상기 제2모재를 덮도록 구비되는 전도층; 및상기 전도층을 접지시키는 접지와이어;를 포함하는 이종재질의 브레이징 장치
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전기전도성 재질의 제1모재와 비전기전도성 재질의 제2모재 사이에 필러를 위치시키고, 이를 가열하여 상기 필러를 녹여 상기 제1모재와 제2모재를 접합시키는 이종재질 브레이징 장치의 제어방법에 있어서,인덕션 코일을 작동하여 제1모재를 가열하는 유도전류 가열단계;전자빔으로서 제2모재를 가열하는 전자빔 조사단계;를 포함하여,상기 제1모재와 제2모재를 서로 다른 가열원으로서 각각 독립적으로 가열하는 이종재질 브레이징 장치의 제어방법
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제8항에 있어서,상기 유도전류 가열단계 및 전자빔 조사단계는,상기 제1모재와 제2모재의 시간당 열팽창량이 동일하도록 가열하는 이종재질 브레이징 장치의 제어방법
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제8항에 있어서,상기 제1모재와 제2모재의 접합이 완료된 후,상기 제1모재와 제2모재를 냉각시키는 냉각단계를 더 포함하는 이종재질 브레이징 장치의 제어방법
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제10항에 있어서,상기 냉각단계는,상기 제1모재와 제2모재의 시간당 열수축율이 동일하도록 상기 인덕션 코일 및 전자빔을 제어하는 이종재질 브레이징 장치의 제어방법
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제8항에 있어서,상기 유도전류 가열단계 및 전자빔 조사단계 전에, 상기 제1모재 및 제2모재의 온도를 기 설정된 온도까지 예열시키는 예열단계를 더 포함하는 이종재질 브레이징 장치의 제어방법
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제12항에 있어서,상기 예열단계는, 챔버 내부의 분위기 온도를 상승시켜 제1모재 및 제2모재의 온도를 상승시키는 단계인 이종재질 브레이징 장치의 제어방법
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