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레이저를 이용한 전사 및 접합 방법

  • 기술번호 : KST2021010136
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법에 관한 것으로, 제 1 레이저를 조사하여 전사 테이프에서 기판 상으로 복수의 디바이스 또는 패키지들이 동시에 전사되고, 제 2 레이저를 조사하여 전사된 복수의 디바이스 또는 패키지들이 동시에 기판 상의 패드와 접합되므로, 전사 및 접합 공정 속도가 매우 극대화될 수 있다.
Int. CL H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 23/482 (2006.01.01) H01L 21/52 (2006.01.01)
CPC H01L 24/81(2013.01) H01L 23/4828(2013.01) H01L 24/13(2013.01) H01L 24/16(2013.01) H01L 24/06(2013.01) H01L 21/52(2013.01)
출원번호/일자 1020200020382 (2020.02.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0106056 (2021.08.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.12.04)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최광성 대전광역시 유성구
2 엄용성 대전시 서구
3 주지호 세종특별자치시 나
4 문석환 대전시 서구
5 윤호경 서울특별시 용산구
6 장기석 세종특별자치시 마
7 최광문 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0177067-26
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2020-1314567-03
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번호 청구항
1 1
패드를 포함하는 기판을 제공하는 것;상기 기판 상에 상기 패드를 덮는 접합부를 형성하는 것;접합 대상을 포함하는 전사 테이프를 상기 접합부 상에 정렬시키는 것;상기 전사 테이프 상에 제1 레이저를 조사하여 상기 접합부 상에 상기 접합 대상을 전사하는 것; 및상기 접합부 상에 제2 레이저를 조사하여 상기 접합부와 상기 접합 대상을 접합하는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 접합부는 솔더(solder) 입자를 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 접합부와 상기 접합 대상을 접합하는 것은:상기 솔더 입자의 상부가 상기 접합 대상의 패드와 접합되는 것; 및상기 솔더 입자의 하부가 상기 기판의 패드와 접합되는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 솔더 입자의 상부가 상기 접합 대상의 패드와 접합되는 것은, 상기 솔더 입자의 상부와 상기 접합 대상의 패드가 금속간 화합물을 형성하는 것을 포함하고,상기 솔더 입자의 하부가 상기 기판의 패드와 접합되는 것은, 상기 솔더 입자의 하부와 상기 기판의 패드가 금속간 화합물을 형성하는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
5 5
제 2 항에 있어서,상기 접합부와 상기 접합 대상을 접합하는 것은, 상기 제 2 레이저를 조사함으로써, 상기 솔더 입자의 산화막을 제거하는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제 1 레이저는 상기 접합 대상과 중첩하는, 상기 전사테이프의 일 영역 상으로 조사되고, 상기 제 2 레이저는 상기 접합 대상이 전사된, 상기 기판 상으로 조사되는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 접합 대상을 전사하는 것은, 상기 제 1 레이저를 조사함으로써, 상기 접합 대상과 인접한 상기 전사 테이프의 일면이 부풀어 상기 전사 테이프와 상기 접합 대상의 접촉 면적을 감소시키는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 접합부와 상기 접합 대상을 접합하는 것은, 상기 접합 대상의 패드와 상기 기판의 패드를 전기적으로 연결시키는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 접합부는 고분자 물질, 환원제, 및 경화제 중 어느 하나를 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
10 10
제 9 항에 있어서,상기 고분자 물질은 epoxy resin, phenoxy resin, bismaleimide, unsaturated polyester, urethane, urea, phenol-formaldehyde, vulcanized rubber, melamine resin, polyimide, epoxy novolac resin, cyanate ester, silicone resin, 및 acrylic resin 중 어느 하나를 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
11 11
제 9 항에 있어서,상기 경화제는 aliphatic amine, aromatic amine, cycloaliphatic amine, phenalkamine, imidazole, carboxylic acid, anhydride, polyamide-based hardners, phenolic curing agents, 및 waterborne curing agents 중 어느 하나를 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 전사 테이프는 poly(methyl methacrylate)(PMMA), poly(N-vinylcarbazole), gelatin films, PEN, PET, PTFE (Teflon), 및 Polyimide 중 어느 하나를 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
13 13
제 1 항에 있어서,상기 접합부와 상기 접합 대상을 접합한 후, 경화하는 공정을 더 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
14 14
패드를 포함하는 기판을 제공하는 것;상기 기판 상에 상기 패드를 덮는 접합부를 형성하는 것;접합 대상을 포함하는 전사 테이프를 상기 접합부 상에 정렬시키는 것;상기 전사 테이프 상에 제1 레이저를 조사하여 상기 접합부 상에 상기 접합 대상을 전사하는 것; 및상기 접합부 상에 제2 레이저를 조사하여 상기 접합부와 상기 접합 대상을 접합하는 것; 을 포함하되,상기 접합 대상의 패드 또는 상기 기판 상의 상기 패드는 그 위에 형성된 솔더를 포함하고,상기 제 2 레이저를 조사하여 상기 솔더의 산화막을 제거함으로써, 상기 접합부와 상기 접합 대상이 접합되는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
15 15
제 14 항에 있어서,상기 접합 대상을 전사하는 것은, 상기 제 1 레이저를 조사함으로써, 상기 접합 대상과 인접한 상기 전사 테이프의 일면이 부풀어 상기 전사 테이프와 상기 접합 대상의 접촉 면적을 감소시키는 것을 포함하는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
16 16
제 14 항에 있어서,상기 제 1 레이저는 상기 접합 대상과 중첩하는, 상기 전사테이프의 일 영역 상으로 조사되고, 상기 제 2 레이저는 상기 접합 대상이 전사된, 상기 기판 상으로 조사되는 레이저를 이용한 전사 및 접합 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 방위사업청 한국전자통신연구원(ETRI) 민군겸용기술개발사업 거리해상도 개선을 위해 PLL을 적용한 1000 MHz 이상의 대역폭을 가지는 근접센서용 94 GHz 대역 SiGe 기반 Packaged Transceiver 칩 개발