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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 상기 슬래브 도파관은, 석영, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 및 테프론(Teflon) 중 적어도 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 상기 그레이팅은, 그레이팅(grating, 격자) 구조로 이루어지며, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)로 이루어진 단층 그레이팅인 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 상기 GMR 필터에 THz를 입사시킴에 따라 상기 그레이팅에 의해 회절된 파는 상기 유전필름을 따라 전파되어 주파수 영역에서 강한 공진이 발생되어, 상기 공진을 분석하여 측정하고자 하는 상기 유전필름의 특성을 확인하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 상기 슬래브 도파관 및 상기 그레이팅은 공극 없이 정전기에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 상기 그레이팅과 같은 방향으로 편광된 THz 파는 상기 유도공진용 GMR 필터에 입사하여 TE(Transverse-Electric) 모드 공진을 형성하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 필름 두께에 따른 공진 깊이와 빈도 변화는 시간 도메인 분광법(THz time-domain spectroscopy, THz-TDS)을 사용하여 측정하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관; 및 상기 슬래브 도파관과 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 그레이팅을 포함하고, 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하며, 상기 GMR 필터의 투과율 또는 반사율을 통해 상기 유전필름의 특성을 확인하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 장치
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관에 그레이팅을 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 단계; 및 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계를 포함하고, 상기 슬래브 도파관은, 석영, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET) 및 테프론(Teflon) 중 적어도 어느 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 방법
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관에 그레이팅을 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 단계; 및 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계를 포함하고, 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계는, 상기 GMR 필터에 THz를 입사시킴에 따라 상기 그레이팅에 의해 회절된 파는 상기 유전필름을 따라 전파되어 주파수 영역에서 강한 공진이 발생되어, 상기 공진을 분석하여 측정하고자 하는 상기 유전필름의 특성을 확인하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 방법
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관에 그레이팅을 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 단계; 및 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계를 포함하고, 상기 GMR 필터를 구현하는 단계는, 상기 슬래브 도파관 및 상기 그레이팅은 공극 없이 정전기에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 방법
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관에 그레이팅을 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 단계; 및 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계를 포함하고, 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계는, 상기 그레이팅과 같은 방향으로 편광된 THz 파는 상기 유도공진용 GMR 필터에 입사하여 TE(Transverse-Electric) 모드 공진을 형성하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 방법
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측정 대상인 유전필름으로 이루어지는 슬래브 도파관에 그레이팅을 결합하여 유도공진용 도파 모드 공진(Guided-Mode Resonance, GMR) 필터를 구현하는 단계; 및 상기 GMR 필터에 테라헤르츠(terahertz, THz)를 입사시켜 발생되는 공진을 분석하여 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계를 포함하고, 상기 유전필름의 특성을 확인하는 단계는, 필름 두께에 따른 공진 깊이와 빈도 변화는 시간 도메인 분광법(THz time-domain spectroscopy, THz-TDS)을 사용하여 측정하는 것을 특징으로 하는, 테라헤르츠 유도공진을 이용한 유전필름 검출 방법
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