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기판(110);상기 기판(110)의 상면에 배치되는 변환기(130); 및 상기 변환기(130)의 말단에 형성되는 리플렉터(140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 표면탄성파 센서
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제 1 항에 있어서,상기 변환기(130)는 2개로 이루어지며, 상기 2개의 변환기(130)는 상기 기판(110)의 상면 중앙에 증착되는 감지막(120)을 기준으로 서로 대칭되게 위치하는 것을 특징으로 하는 단일 표면탄성파 센서
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제 2 항에 있어서,상기 감지막(120)은 금속 산화물 층(metal oxide layer), 폴리머 필름(polymer film), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 및 셀룰로오스 중 어느 한 개인 것을 특징으로 하는 단일 표면탄성파 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판(110)의 재료는 전기적 에너지와 기계적 에너지간 서로 변환이 가능한 압전재료인 것을 특징으로 하는 단일 표면탄성파 센서
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제 4 항에 있어서,상기 압전재료는, 석영, GaAs, ZnO, LiTaO3, LiNbO3, 및 PbZrO3 중 어느 한개인 것을 특징으로 하는 단일 표면탄성파 센서
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제 1 항에 있어서,상기 리플렉터(140)는 상기 기판(110)의 하단면에 형성되는 핀(250)을 통해 계측기기와 연결되는 것을 특징으로 하는 단일 표면탄성파 센서
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기준 센서(311)를 갖는 기준 오실레이터(311);감지막(120)이 있는 단일 표면탄성파 센서(100)를 각각 갖는 n개의 오실레이터(310-1 내지 310-n);상기 기준 오실레이터(311)로부터 발생되는 제 1 신호와 상기 n개의 오실레이터(310-1 내지 310-n)로부터 발생되는 상기 n개의 제 2 신호 각각의 합으로 생성되는 상기 n개의 합산신호를 출력하는 상기 n개의 믹서기(320-1 내지 320-n);상기 n개의 합산신호를 단일 출력선으로 전송하는 멀티플렉서(340);를 포함하되, 상기 단일 표면탄성파 센서(100)는,기판(110);상기 기판(110)의 상면에 배치되는 변환기(130); 및 상기 변환기(130)의 말단에 형성되는 리플렉터(140);를 포함하며, 상기 변환기(130)는 2개로 이루어지며, 상기 2개의 변환기(130)는 상기 기판(110)의 상면 중앙에 증착되는 감지막(120)을 기준으로 서로 대칭되게 위치하는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 7 항에 있어서,상기 n개의 합산신호를 미리 설정된 기준값과 비교하여 목표 물질 별로 사전에 설정된 일정 주파수 변화 수준을 초과하면 비교 결과 신호를 생성하는 비교기(370);를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 8 항에 있어서,상기 비교 결과 신호에 따라 알람 정보를 생성하는 마이크로 컨트롤러 유닛(380);을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 9 항에 있어서,상기 알람 정보를 출력하는 디스플레이(390);를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 9 항에 있어서,상기 알람 정보는 그래픽, 문자, 음성, 및 진동의 조합인 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 7 항에 있어서,상기 n개의 합산신호는 환경변수를 제거하기 위해 상기 제 1 신호와 상기 n개의 제 2 신호간 각각의 공진 주파수 차이를 측정하여 생성되는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 12 항에 있어서,상기 환경변수는 주변 온도, 습도, 및 압력 중 적어도 어느 한개인 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 신호는 상기 n개의 제 2 신호 보다 먼저 생성되는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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제 7 항에 있어서,상기 감지막(120)은 상기 n개 이상의 오실레이터(310-1 내지 310-n)마다 서로 다른 감지물질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 장치
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(a) 기준 센서(311)를 갖는 기준 오실레이터(311)가 제 1 신호를 생성하는 단계;(b) 감지막(120)이 있는 단일 표면탄성파 센서(100)를 각각 갖는 n개의 오실레이터(310-1 내지 310-n)가 상기 n개의 제 2 신호를 생성하는 단계; 및(c) 상기 n개의 믹서기(320-1 내지 320-n)가 상기 제 1 신호와 상기 n 개의 제 2 신호를 각각 합하여 생성되는 상기 n개의 합산신호를 출력하는 단계; 및(d) 멀티플렉서(340)가 상기 n개의 합산신호를 단일 출력선으로 전송하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 탐지 방법
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