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단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막 및 이의 합성 방법

  • 기술번호 : KST2021010329
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막 및 이의 합성 방법이 개시된다. (hkl)의 밀러 지수를 갖는 고지수 표면이 노출되도록 단결정 금속 기판을 가공하는 단계; 및 화학기상증착방법(chemical vapor deposition)으로 상기 고지수 표면에 단결정 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 단계;를 포함하고, 상기 h,k 및 l은 각각 서로 독립적으로 +1 이상 또는 -1 이하의 정수로서, 이들 중 하나 이상은 2 이상 또는 -2 이하인 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 16/30 (2006.01.01) C30B 29/46 (2006.01.01)
CPC C23C 16/305(2013.01) C30B 29/46(2013.01)
출원번호/일자 1020200007060 (2020.01.20)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0093478 (2021.07.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.01.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기강 경기도 수원시 장안구
2 최수호 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-0060310-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.09.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0146615-81
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0661154-57
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번호 청구항
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(hkl)의 밀러 지수를 갖는 고지수 표면이 노출되도록 단결정 금속 기판을 가공하는 단계; 및화학기상증착방법(chemical vapor deposition)으로 상기 고지수 표면에 단결정 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 단계;를 포함하고,상기 h,k 및 l은 각각 서로 독립적으로 +1 이상 또는 -1 이하의 정수로서, 이들 중 하나 이상은 2 이상 또는 -2 이하인 것을 특징으로 하는, 단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막의 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 기판은 전이금속 및 칼코겐 원소들과 반응하지 않는 금속 또는 합금으로 형성된 것인,단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막의 합성 방법
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제2항에 있어서,상기 금속 기판은 FCC 결정구조를 갖는 금(Au)으로 형성된 것을 특징으로 하는, 단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막의 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐 화합물은 전이금속 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 및 크롬(Cr)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 전이금속 원소 및 황(S), 셀레늄(Se) 및 텔루륨(Te)으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나의 칼코겐 원소를 포함한,단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막의 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 화학기상증착방법은 500 내지 900℃의 온도 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는,단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막의 합성 방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 합성 방법에 따라 제조된,단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막
7 7
제6항에 있어서,상기 단결정 전이금속 칼코겐 화합물 박막의 크기는 세로 길이가 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.