| 1 |
1
표면에 선형 요철들이 병렬로 정렬된 패턴을 포함하는 제1층;표면에 상기 제1층의 상기 선형 요철 패턴들에 맞물리도록 대응되는 패턴을 포함하는 제2층을 포함하고,상기 제1층 및 제2층은 각 층의 패턴이 서로 맞물리도록 샌드위치 되어 있고,상기 제1층과 상기 제2층의 탄성계수는 상이함을 특징으로 하며,기판의 두께의 줄어듬(z 방향)에 대한, 상기 패턴의 길이 방향에 수직한 방향(상기 패턴의 정렬 방향)의 신장 정도가, 상기 패턴의 길이 방향(y)의 신장 정도보다 큰, 비등방성을 가지거나,상기 패턴의 길이 방향(y)의 신장에 대한 기판 두께의 줄어듬의 y방향 포아송비(υzx)에 비해, 상기 패턴의 길이 방향에 수직한 방향(x)의 신장에 대한 기판 두께의 줄어듬의 x 방향 포아송비(υzy)가 큰, 비등방성 포아송 비율의 기판
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 선형 요철의 단면은 원, 반원 또는 다각형임을 특징으로 하는, 비등방성 포아송 비율의 기판
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 선형 요철의 단면은 하프-허니콤임을 특징으로 하는, 비등방성 포아송 비율의 기판
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항의 비등방성 포아송 비율의 기판; 및상기 기판 상에 위치하고, 상기 기판의 작은 포아송 비율에 평행하게 배열된 크랙을 표면에 포함하는 전도성층을 포함하는 크랙 센서층을 포함하는,상기 기판의 면에 가해지는 압력을 측정할 수 있는 압력 센서
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 비등방성 포아송 비율의 기판은,표면에 선형 요철들이 병렬로 정렬된 패턴을 포함하는 제1층;표면에 상기 제1층의 상기 선형 요철 패턴들에 맞물리도록 대응되는 패턴을 포함하는 제2층을 포함하고,상기 제1층 및 제2층은 각 층의 패턴이 서로 맞물리도록 샌드위치 되어 있고,상기 제1층 및 제2층의 탄성 계수는 상이한,압력 센서
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 선형 요철의 단면은 원, 반원 또는 다각형임을 특징으로 하는, 압력 센서
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 선형 요철의 단면은 하프-허니콤임을 특징으로 하는, 압력 센서
|
| 10 |
10
제7항에 있어서,상기 크랙의 배열은 상기 패턴과 평행함을 특징으로 하는,압력 센서
|
| 11 |
11
제7항에 있어서,상기 크랙 센서층은 상기 제2층 위에 있으며,상기 제1층의 탄성계수는 상기 제2층의 탄성계수보다 큼을 특징으로 하는,압력 센서
|
