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공정공간이 구비된 챔버;상기 챔버를 감싸도록 설치되고, 상기 챔버를 가열시키기 위한 히팅블록; 상기 히팅블록의 외면을 감싸도록 구비되고, 상기 공정공간에 열을 제공하는 열선을 포함하는 히팅자켓; 및상기 공정공간에서 증착이 이루어지도록, 상기 챔버에 진동을 발생시키는 진동부를 포함하고, 상기 히팅자켓은 상기 진동부에 의해 발생한 충격을 흡수하게 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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제1항에 있어서,상기 히팅자켓은,상기 열선을 포함하는 가열층;단열을 위해 상기 가열층의 외면에 설치되는 단열재를 포함하는 단열층; 및상기 단열층의 외면에 설치되어 상기 진동부로부터 전달되는 충격을 흡수하게 마련되는 충격흡수층을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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제2항에 있어서, 상기 충격흡수층은 실리콘 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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제2항에 있어서, 상기 챔버의 중심축을 중심으로 한 원주 상의 각도 범위를, 제1 각도 범위와 상기 제1 각도 범위를 제외한 범위인 제2 각도 범위로 구분하고, 상기 제1 각도 범위는 상기 진동부가 설치된 영역을 포함하고 상기 제2 각도 범위보다 작은 각도 범위라고 할 때, 상기 열선은 상기 가열층에 원주 방향을 따라 복수로 구비되되, 상기 제2 각도 범위 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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제1항에 있어서, 상기 히팅블록은, 상기 챔버의 외면을 감싸도록 설치되고 상기 히팅자켓에 의해 가열됨으로써, 상기 열선에 의해 제공된 열이 상기 공정공간에 균일하게 분포되게 하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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제4항에 있어서, 상기 히팅블록의 온도를 측정하도록 상기 히팅블록의 내부에 설치되되, 상기 제2 각도 범위 내에 설치되는 온도센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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제6항에 있어서, 상기 온도센서는 상기 진동부가 설치된 위치와 180도를 이루는 위치를 포함한 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치
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