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(a) 챔버 내부의 다공성 모듈 상에 소재를 제공하는 단계;(b) 상기 소재를 냉각하기 위한 냉매의 포화 온도를 조절하기 위해 압력 조절부를 통해 상기 챔버 내부의 기압을 조절하는 단계;(c) 상기 다공성 모듈로 상기 냉매를 공급하여 기 설정된 온도에서 상기 소재를 냉각하는 단계;(d) 상기 압력 조절부를 통해 상기 챔버의 내부 기압과 외부 기압 간의 차이를 감소시키는 단계; 및(e) 상기 챔버의 일측을 개방하여 상기 소재를 교체하는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계는:(b-1) 상기 압력 조절부와 상기 챔버 사이에 제공되는 제3 밸브를 개방하는 단계; 및(b-2) 상기 냉매의 포화 온도를 조절하기 위하여 상기 압력 조절부를 통해 상기 챔버의 내부 기압을 조절하는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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제 2 항에 있어서,상기 (c) 단계는:(c-1) 상기 냉매를 상기 다공성 모듈로 공급하기 위해 상기 챔버와 냉매 저장부 사이에 제공된 제1 밸브를 개방하는 단계;(c-2) 상기 소재를 잠열 냉각시키는 과정에서 발생한 냉매 기체가 상기 챔버 외부로 배출될 수 있도록 상기 챔버와 냉각부 사이에 제공된 제2 밸브를 개방하는 단계;(c-3) 상기 냉매가 상기 다공성 모듈 상의 소재로부터 열을 흡수하는 과정에서 상기 포화 온도에서의 잠열 냉각이 이루어지는 단계; 및(c-4) 상기 잠열 냉각에 의해 발생한 냉매 기체를 상기 챔버 외부로 배출하는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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제 3 항에 있어서,상기 (d) 단계는:(d-1) 상기 냉매가 상기 챔버 내부로 공급되는 것을 차단하기 위해 상기 제1 밸브를 폐쇄하는 단계;(d-2) 상기 압력 조절부를 통해 상기 챔버의 내부 기압과 외부 기압 간의 차이를 감소시키는 단계; 및(d-3) 상기 챔버 내부의 냉매 기체가 챔버 외부로 배출된 후 상기 제2 밸브를 폐쇄하는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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제 4 항에 있어서,상기 (c-1) 단계는:(c-1-1) 상기 챔버와 상기 냉매 저장부 사이에 제공된 제1 밸브를 개방하는 단계;(c-1-2) 상기 냉매가 상기 챔버 내부에 제공된 다공성 모듈의 저면으로 공급되는 단계; 및(c-1-3) 상기 다공성 모듈의 상면에서 하방으로 제공된 기 설정된 길이의 복수의 미세 냉매 유출관을 통해 상기 냉매가 상기 다공성 모듈의 상면으로 유출되는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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제 5 항에 있어서,상기 (c-3) 단계는:(c-3-1) 액상의 냉매가 상기 다공성 모듈의 상면으로 유동하며 상기 소재로부터 열을 흡수하는 단계; 및(c-3-2) 상기 액상의 냉매가 상기 소재로부터 열을 흡수하여 상기 압력 조절부에 의해 설정된 상기 냉매의 포화 온도에서 증발함으로써 상기 소재를 잠열 냉각시키는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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제 6 항에 있어서,상기 (c-3) 단계는 상기 (c-3-2) 단계 이후에,(c-3-3) 상기 냉매의 증발에 의한 잠열 냉각 상황에 따라 상기 냉매의 포화 온도를 재조절하기 위하여 상기 압력 조절부를 통해 상기 챔버의 내부 기압을 재조절하는 단계를 더 포함하는소재 냉각 방법
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제 7 항에 있어서,상기 (c-3-3) 단계는:기 설정된 시간이 흐른 후에도 상기 소재의 잠열 냉각이 이루어지는 경우, 상기 압력 조절부를 통해 상기 챔버의 내부 압력을 상승시켜 상기 냉매의 포화 온도를 상승시키고,상기 소재가 냉각됨으로써 상기 냉매의 온도가 상기 냉매의 포화 온도에 도달하지 못해 상기 소재의 잠열 냉각이 이루어지지 않는 경우, 상기 압력 조절부를 통해 상기 챔버 내부의 압력을 하강시켜 상기 냉매의 포화 온도를 하강시키는 단계인소재 냉각 방법
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제 8 항에 있어서,상기 (e) 단계 이후에,(f) 냉각부를 통해 상기 소재의 잠열 냉각 과정에서 가열된 냉매를 냉각시키는 단계;(g) 냉매 보충부를 통해 상기 소재의 잠열 냉각 과정에서 유실된 냉매를 보충하는 단계; 및(h) 냉매 저장부를 통해 상기 챔버로 유입되기 전의 냉매를 임시 저장하고, 상기 챔버 내부로 공급되는 냉매량을 조절하여 상기 챔버 내부의 냉매량을 기 설정된 범위로 유지시키는 단계를 포함하는소재 냉각 방법
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