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질화규소 분말과 산화물계 소결 조제를 혼합한 원료분말을 열처리하는 단계; 및상기 열처리하는 단계를 거친 결과물을 소결하는 단계;를 포함하고,상기 열처리하는 단계를 거친 결과물은 α-질화규소 70 내지 90 중량부 및 β-질화규소 10 내지 30 중량부를 포함하는 것인 질화규소 소결체의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 열처리하는 단계는 1400 내지 1500℃의 온도에서 질소 또는 아르곤 분위기 하에 2 내지 5 시간 동안 수행되는 것인 질화규소 소결체의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 원료분말은 상기 질화규소 분말 90 내지 98 중량부 및 상기 산화물계 소결 조제 2 내지 10 중량부를 포함하는 것인 질화규소 소결체의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화물계 소결 조제는 희토류 산화물 및 알칼리토금속 산화물 중에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것인 질화규소 소결체의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 소결하는 단계는 1750 내지 1850℃의 온도에서 질소 또는 아르곤 분위기 하에 4 내지 8 시간 동안 수행되는 것인 질화규소 소결체의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 원료분말을 열처리하는 단계 이전에, 상기 원료분말로부터 성형체를 형성하는 단계를 더 포함하는 것인 질화규소 소결체의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 6 중의 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 질화규소 소결체
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