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카르복시 변성 실란, 에폭시 실란 및 아크릴 실란에 산 또는 염기 촉매 수용액을 첨가하여 혼합물을 형성하는 단계;상기 혼합물을 15 내지 90℃에서 교반하여 카르복시 변성 에폭시-아크릴레이트 실록산을 제조하는 단계; 및상기 카르복시 변성 에폭시-아크릴레이트 실록산에 보조제를 첨가한 후 경화시켜 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트를 제조하는 단계;를 포함하며,상기 카르복시 변성 실란은, 비닐기를 갖는 T종 또는 D종 실란과, 카르복시기를 갖는 티올단량체(thiol monomer)를 중합하여 합성되되,상기 카르복시기를 갖는 티올단량체는, 티오글리콜릭 엑시드(thioglycolic acid), 티오말릭 엑시드(thiomalic acid), 티오락틱 엑시드(thiolactic acid), 2-머캅토이소부티릭 엑시드(2-mercaptoisobutyric acid), 2-메틸-3-설파닐프로파노익 엑시드(2-methyl-3-sulfanylpropanoic acid), 4-머캅토부티릭 엑시트(4-mercaptobutyric acid)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 혼합물을 형성하는 단계는,알킬기 또는 아릴기를 갖는 이종 실란을 첨가하는 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 광감성 솔더레지스트를 제조하는 단계는,상기 카르복시 변성 에폭시-아크릴레이트 실록산 100중량부에 대하여,에폭시 수지, 페놀 수지 및 감광성 카르복시기 함유 아크릴레이트 수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 보조제 1 내지 20중량부를 첨가하는 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 비닐기를 갖는 T종 또는 D종 실란은,비닐트리메톡시실란(vinyltrimethoxysilane), 비닐트리에톡시실란(vinyltriethoxysilane), 비닐디메톡시메틸실란(vinyldimethoxymethylsilane), 비닐디에톡시메틸실란(vinyldiethoxymethylsilane)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 에폭시 실란은,에폭시기를 갖는 T종 또는 D종 실란이되,3-글리시독시프로필트리메톡시실란(3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), 3-글리시독시프로필트리에톡시실란(3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), 3-(2,3-에폭시프로폭시프로필)메틸디메톡시실란(3-(2,3-epoxypropoxypropyl)methyldimethoxysilane), 3-(2,3-에폭시프로폭시프로필메틸디에톡시실란(3-(2,3-epoxypropoxypropyl)methyldiethoxysilane), 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸메틸디메톡시실란(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethylmethyldimethoxysilane) 및 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 아크릴 실란은,아크릴기를 갖는 T종 또는 D종 실란이되,N-(3-아크릴옥시-2-하이드록시프로필)-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-(3-아크릴옥시-2-하이드록시프로필)-3-아미노프로필트리에톡시실란, N-(3-아크릴옥시-2-하이드록시프로필)-3-아미노프로필트리프로폭시실란, 3-아크릴옥시프로필메틸비스(트리메톡시)실란, 3-아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리에톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리프로폭시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리에톡시실란, 3-(메트)아크릴옥시프로필트리프로폭시실란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트의 제조방법
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카르복시 변성 실란, 에폭시 실란 및 아크릴 실란에 산 또는 염기 촉매 수용액을 첨가하고 15 내지 90℃에서 교반하여 형성되는 카르복시 변성 에폭시-아크릴레이트 실록산과, 보조제를 혼합 및 경화시켜 형성되는 것을 특징으로 하는, 유기 실록산 바인더 기반 광감성 솔더레지스트
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